一种紫外正性光刻胶及其高耐热成膜树脂

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201510014008.8 （22）申请日 2015.01.08

（71）申请人 苏州瑞红电子化学品有限公司

地址 215124 江苏省苏州市吴中区民丰路501号

（10）申请公布号 CN104614942A

（43）申请公布日 2015.05.13

（72）发明人 徐亮 （74）专利代理机构

代理人

（51）Int.CI

G03F7/075; G03F7/004; G03F7/00;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种紫外正性光刻胶及其高耐热成膜树脂

（57）摘要

本发明公开了一种紫外正性光刻胶组合

物，含有1～20份的重氮类感光剂、5～50份的成膜树脂、0～1份的表面活性剂、0～20份的黏附促进剂以及50～90份的溶剂。此光刻胶组合物使用有机硅改性的线性酚醛树脂具有比通常线性酚醛树脂体系的光刻胶更高的耐热性和玻璃化转

变温度，可在更高的烘烤温度下保持图形的稳定，并且具有良好的耐等离子蚀刻的性能，在干法蚀刻的工艺中有很高的选择比。

法律状态

法律状态公告日

2015-05-13 2015-05-13 2015-06-10 2015-06-10 2019-01-25

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

权利要求说明书

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说明书

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