薄膜厚度量测装置

（12）发明专利说明书

（21）申请号 CN200410068359.9 （22）申请日 2004.08.31

（71）申请人 精碟科技股份有限公司

地址 省台北县五股乡五权七路13号

（10）申请公布号 CN100356135C

（43）申请公布日 2007.12.19

（72）发明人 谢国卿

（74）专利代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司

代理人 陈肖梅

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

薄膜厚度量测装置

（57）摘要

本发明涉及一种薄膜厚度量测装置，

用以测量一薄膜待测物的厚度，其中该薄膜待测物至少具有一非导电材料或该薄膜待测物置于一非电解质流体中，其包含一探针、一控制单元、一承载单元、一电源供应单元以及一侦测单元。其中，控制单元控制移动探针与薄膜待测物相接触，承载单元用以承载薄膜待测物，电源供应单元与探针以及承载单元电连接，且探针、薄膜待测物、承载单元以及电源供应单元形成一回路，而侦测单元量测回路的电流，亦即是通过薄膜待测

物的一穿隧电流。 法律状态

法律状态公告日

2006-03-08 2006-05-03 2007-12-19 2010-09-22

法律状态信息

公开

实质审查的生效 授权 专利权的终止

法律状态

公开

实质审查的生效 授权 专利权的终止

权利要求说明书

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说明书

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