专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：具有梳形电极的加速度传感器专利类型：发明专利
发明人：J·克拉森,M·海茨,F·本尼尼申请号：CN200780047165.2申请日：20071019公开号：CN101563616A公开日：20091021
摘要：本发明涉及一种微机械电容式加速度传感器，其具有至少一个可偏移地与基底(5)连接的地震振动质量块(1)、至少一个固定地与基底(5)连接的电极(11)和至少一个与地震振动质量块(1)连接的电极(6)，其中，所述至少一个固定地与基底(5)连接的电极(11)和所述至少一个与地震振动质量块(1)连接的电极(6)被构造成具有平行于地震振动质量块(1)的偏移方向延伸的薄片(8，13)的梳形电极(6，11)，其中两个梳形电极(6，11)的薄片(8，13)在静止状态下部分重叠。
申请人：罗伯特·博世有限公司
地址：德国斯图加特
国籍：DE
代理机构：永新专利商标代理有限公司
代理人：侯鸣慧
更多信息请下载全文后查看
