表面粗糙度测量装置及其测量工作台

（12）实用新型专利

（21）申请号 CN201220012871.1 （22）申请日 2012.01.12 （71）申请人 河南科技大学

地址 471003 河南省洛阳市涧西区西苑路48号

（10）申请公布号 CN202547612U

（43）申请公布日 2012.11.21

（72）发明人 王晓强;崔凤奎;张丰收;薛进学;高乐;徐红玉 （74）专利代理机构 郑州睿信知识产权代理有限公司

代理人 胡伟华

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

表面粗糙度测量装置及其测量工作台

（57）摘要

本实用新型的表面粗糙度测量装置，

包括测量机构和测量工作台，测量工作台由上下两层台架构成，每层台架均包括直线导向移动副，直线导向移动副包括定导轨和气浮导轨，气浮导轨由上气浮块、与上气浮块底部两侧固连的两个侧气浮块以及分别与两个侧气浮块底部固连并相向延伸的底气浮块构成，气浮导轨的内表面由各气浮块的出气面构成，出气面与定导轨正对的位置上设有出气孔，各气浮块的出气孔在气浮导轨内部通过气体通道相互连通并共用一个进气孔；

同时本实用新型还提供一种测量工作台。本实用新型构成测量工作台的气浮导轨可沿定导轨无摩擦运动，解决了现有技术中测量工作台响应速度慢、移动速度低且控制精度低的问题。 法律状态

法律状态公告日2012-11-21 2016-10-19

法律状态信息

授权

避免重复授权放弃专利权法律状态

授权

避免重复授权放弃专利权

权利要求说明书

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说明书

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