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专利名称：具有高温加热功能的晶圆传输装置专利类型：实用新型专利发明人：贾昆良
申请号：CN2020221991.8申请日：20200930公开号：CN213150746U公开日：20210507
摘要：本实用新型公开了一种具有高温加热功能的晶圆传输装置,包括铝合金底座、钛合金连接件，所述铝合金底座C面连接端通过螺钉连接有钛合金连接件，铝合金底座D面铠装加热管安装槽内嵌设有铠装加热管，铠装加热管延长端设置有冷端接线帽，冷端接线帽卡设在钛合金连接件的加热管定位板上；所述铠装加热管上另一个冷端接线帽上连接有真空大气转接件，所述真空大气转接件上转接孔与导线连接处设置有环氧树脂密封胶。本实用新型结构简单，重量轻，安装拆卸方便快捷，性能可靠，延长了铝合金底的使用寿命，提供了稳定的晶圆温度，大幅度减少晶圆在工艺腔内加热器上的升温时间，有效提高了生产效率，大幅度降低了生产成本。
申请人：靖江先锋半导体科技有限公司
地址：214500 江苏省泰州市靖江市城南园区德裕路8号
国籍：CN
代理机构：靖江市靖泰专利事务所(普通合伙)
代理人：陈秀兰
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