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专利名称：用于连接监测集成电路制造的测试结构或线性阵列
的方法和配置
专利类型：发明专利
发明人：克里斯托弗·赫斯,大卫·戈德曼申请号：CN200480030335.2申请日：20040430公开号：CN101107670A公开日：20080116
摘要：一测试芯片(200)包括具有一区域(201)阵列的层面。每一区域(201)能包括至少一个测试结构(202)。至少一些所述区域(201)包括各自的测试结构(202)。所述层面具有数根向测试结构(202)提供输入信号的驱动线(D1－D5)。所述层面具有数根从所述测试结构(202)接收输出信号的接收线(R1－R8)。所述层面具有数个器件用于控制电流方向。每一测试结构(202)通过一所述器件的第一个连接到至少一根所述驱动线。每一测试结构通过一所述器件中的第二个连接到至少一根所述接收线(R1－R8)，以至于每一测试结构(202)能利用所述驱动线(D1－D5)和接收线(R1－R8)而地定位以用于测试。
申请人：PDF技术公司
地址：美国加利福尼亚
国籍：US
代理机构：北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人：臧建明
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