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专利名称：一种基于表面等离激元共振效应的氢气传感微结构专利类型：发明专利
发明人：郝凤欢,刘鹏飞,葛辉良申请号：CN201710941746.6申请日：20171011公开号：CN1079622A公开日：20180427
摘要：本发明公开了一种基于表面等离激元共振效应的氢气传感微结构，主要由衬底、铬薄膜、银薄膜、介质薄膜、钯薄膜、一个直线型狭缝以及两个直线型凹槽阵列构成。其中铬薄膜、银薄膜、介质薄膜与钯薄膜依次附着在衬底上，形成多层复合薄膜；直线型狭缝位于多层复薄膜上，并刻穿多层复合薄膜；两个直线型凹槽阵列与线型狭缝平行，并分别位于直线型狭缝两侧。该氢气传感微结构利用表面等离激元共振效应使得其出射光沿指定方向角传播，并且出射光束的方向角度具有随着氢气浓度变化的特性。基于本发明的氢气传感系统具有灵敏度高，响应速度快，抗环境干扰能力强、氢气传感探头结构的灵巧化，信号探测处理的简单化与低成本化的特点。
申请人：中国船舶重工集团公司第七一五研究所
地址：311499 浙江省杭州市富阳区富春街道桂花西路82号
国籍：CN
代理机构：杭州九洲专利事务所有限公司
代理人：陈继亮
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