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专利名称：具有扰流结构的光罩盒专利类型：发明专利
发明人：庄家和,薛新民,林书弘,邱铭乾申请号：CN201911141711.X申请日：20191120公开号：CN111830782A公开日：20201027
摘要：本发明公开一种具有扰流结构的光罩盒，包括本体及盖体，本体的区域有光罩置放区，盖体盖合于本体，盖体的边缘区域与本体的边缘区域以凸部及凹部相互组合，凹部及凸部搭配形成环绕光罩置放区的扰流结构，其中扰流结构包括在凹部及凸部之间的扰流通道，且本体在形成扰流通道的表面上具有至少内缩的侧壁，以形成集尘空间。借由本发明的具有扰流结构的光罩盒，当气流挟带的尘粒自外部进入扰流通道，尘粒将被滞留于集尘空间中，因而有效阻拦尘粒进入光罩置放区。
申请人：家登精密工业股份有限公司
地址：中国新北市
国籍：CN
代理机构：北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：刘云贵
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