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专利名称：一种超大电路板清洗等离子体处理装置专利类型：实用新型专利发明人：沈文凯,刘鑫培,王红卫申请号：CN201922471169.6申请日：20191231公开号：CN211768437U公开日：20201027
摘要：本实用新型涉及一种超大电路板清洗等离子体处理装置，包括机架、传输装置、进料区、出料区及腔体；所述传输装置、腔体均设置在所述机架上端；所述腔体包括预真空腔体、处理腔体、破真空腔体，所述处理腔体位于所述预真空腔体和破真空腔体之间；所述进料区与所述预真空腔体相邻，所述出料区与所述破真空腔体相邻；本实用新型解决了现有技术中对电路板的清洗主要采用离线式等离子体处理，人工成本高，处理效率低的缺陷，本实用新型能够实现电路板的在线等离子体处理，满足大型电路板的处理需求，提高处理效率，等离子体处理的均匀性好，从而提高产品的品质。
申请人：苏州市奥普斯等离子体科技有限公司
地址：215000 江苏省苏州市高新区泰山路2号(博济科技园内)
国籍：CN
代理机构：北京润川律师事务所
代理人：张超
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