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专利名称:一种阀门自动对接装置专利类型:实用新型专利
发明人:张荣良,潘秋丽,楼新天,潘兴旺,杨兴跃申请号:CN2019211341.0申请日:20190718公开号:CN210340997U公开日:20200417
摘要:本实用新型公开了一种阀门自动对接装置,主要用于真空退火炉与抽真空泵之间的自动连接,它包括连接阀门,还包括波纹管补偿器,所述波纹管补偿器通过法兰固定连接在抽真空泵上,所述连接阀门通过法兰连接在真空退火炉的真空连接管道上,所述连接阀门上设有电磁换向阀以及气动装置,所述气动装置包括电磁换向阀气缸、螺纹杆、拉力杆,所述电磁换向阀气缸通过螺纹杆与拉力杆连接,驱动拉力杆自动连接压紧或松开波纹管补偿器,所述拉力杆可在螺纹杆上的螺纹段进行部分旋入,用以控制运动行程。本实用新型通过增设波纹管补偿器以及气动装置,实现管道阀门间的自动可靠对接、自动压紧以及自动松开动作,使退火炉实现抽真空工序的自动化。
申请人:浙江百川导体技术股份有限公司
地址:322200 浙江省金华市浦江县仙华街道百川路6号
国籍:CN
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