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乐山高新区3000ta多晶硅项目环境影响报告书

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书 1.总论

1.1概述

太阳能级多晶硅能有效利用太阳能,太阳能做为一种清洁能源,对我国可持续发展意义重大,2005年3月中华人民共和国令33号正式颁布了《中华人民共和国可再生能源法》明确指出了国家发展可再生能源,为了鼓励国家新能源产业的发展,国家高计[2005]509号文件要求组织实施可再生能源和新能源高技术产业化,明确要求解决我国太阳能电池用多晶硅原料生产和光伏产业链发展不平衡的问题。

在世界各国,尤其是美、日、德等发达国家先后发起的大规模国家光伏发展计划和太阳能屋顶计划的刺激和推动下,世界光伏工业近年来保持着年均30%以上的高速增长,全球目前多晶硅缺口在6000t左右,专家预测,光伏发电将在新世纪前半期超过核电成为最重要的基础能源之一。多晶硅是半导体工业、电子信息产业、太阳能光伏电池产业的最主要、最基础的功能性材料,多晶硅太阳能电池生产需要多晶硅材料,集成电路用硅单晶生产同样需要多晶硅,其重要性不言而喻。

我国多晶硅无论是技术水平还是生产规模上均与世界先进水平有很大的差距,产量仅占世界总产量的0.3%~0.4%,目前主要依赖进口,在缺少国内竞争的条件下,进口多晶硅价格一直居高不下,严重影响了我国信息产业和太阳能利用的发展,因此,本项目建设可提高我国多晶硅的生产能力,不仅对企业发展起重要作用,也对我国信息产业和太阳能利用的发展起到积极的推动作用。

硅材料产业是国家鼓励发展的具有广阔前景的高新技术产业,是各地战略投资者高度关注和争相抢占的竞争制高点。乐山市硅材料产业在、省的大力关心支持下,发展势头迅猛,2007年2月乐山高新技术产业开发区内的新光硅业公司1000吨多晶硅已试车成功。为在乐山高新技术产业开发区进一步发展多晶硅产业,形成乐山市的“硅产业链”,乐山市计划在高新区抓紧推进3000t/a的多晶硅项目的实施。乐山市高新区3000t/a多晶硅项目,是乐山培育硅材料产业集群和打造硅材料百亿园区的重大项目,、市对此高度重视,专门成立了硅材料产业发展工作领导小组,全力做好协调服务工作。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书 根据《中华人民共和国环境保》、《中华人民共和国环境影响评价法》、[1998]253号令《建设项目环境保护管理条例》等有关规定,在项目前期可行性研究阶段,需进行环境影响评价工作,为此,乐山高新区管委会于2007年7月委托国家环境保护总局环境发展中心承担该项目的环境影响评价工作。接受委托后,评价单位详细收集和分析与工程项目有关的基础资料,通过大量调查、监测和模拟,在系统深入的研究基础上,编制了“乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书”,提交环境保护主管部门审查。

1.2编制依据

1.2.1法律、法规

(1)《中华人民共和国环境保》,19.12.26; (2)《中华人民共和国大气污染防治法》,2000.4.29; (3)《中华人民共和国水污染防治法》,1996.5.15;

(4)《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》,2005.4.1; (5)《中华人民共和国环境噪声污染防治法》,1997.3.1; (6)《中华人民共和国水土保持法》,1991.6.29; (7)《中华人民共和国清洁生产促进法》,2003.1.1; (8)《中华人民共和国环境影响评价法》,2002.10.28; (9)《中华人民共和国节约能源法》,1998.1.1;

(10)《建设项目环境保护管理条例》,[1998]第253号令,1998.11.29; (11)《建设项目环境保护分类管理名录》,国家环境保护总局令第14号; (12)《关于环境保护若干问题的决定》,国发[1996]31号,1996.8.6; (13)《关于加快推行清洁生产的意见》,国家发展改革委等十一部委,2004.1;

(14)《关于加强环境影响评价管理防范环境风险的通知》,环发[2005]152号;

(15)《关于检查化工石化等新建项目环境奉献的通知》,环办[2006]4号; (16)《四川省〈中华人民共和国水法〉实施办法》,2005.07.01; (17)《四川省〈中华人民共和国大气污染防治法〉实施办法》,2002.09.01;

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书 (18)《四川省环境保护条例》,1991.07.29;

(19)《四川省关于加强环境保护工作的决定》,1996年11月22日川府发[1996]42号;

(20)《四川省关于四川省地面水水域环境功能划类管理规定》,1992年1月13日 川府发[1992]5号;

(21)乐山市关于印发《乐山市环境空气质量功能区划分的规定》的通知,乐府办[1997]13号,1997.03.19;

(22)乐山市《关于乐山市地面水水域环境功能类别的规定的通知》,乐府发[1993]10号;

(23)乐山市关于印发《乐山市中心城区环境噪声标准适用区域划分暂行规定的通知》,乐府办发[1998]95号。 1.2.2规定

(1)《关于落实科学发展观加强环境保护的决定》,国发[2005]39号;

(2)《产业结构调整指导目录(2005年本)》,国家发展和改革委员会第40号令,2005.12.2;

(3)《关于进一步加强产业和信贷协调配合控制信贷风险有关问题的通知》,发改产业[2004]746号;

(4)《关于加强工业节水工作的意见》,国家经贸委等六部委,国经贸资源[2000]1015号,2000.10.25。 1.2.3技术导则与规范

(1)《环境影响评价技术导则 总纲》(HJ/T2.1-93),国家环境保护局; (2)《环境影响评价技术导则 大气环境》(HJ/T2.2-93),国家环境保护局; (3)《环境影响评价技术导则 地面水环境》(HJ/T2.3-93),国家环境保护局; (4)《环境影响评价技术导则 声环境》(HJ/T2.4-95),国家环境保护局; (5)《环境影响评价技术导则 非污染生态影响》(HJ/T19-1997),国家环境保护局;

(6)《建设项目环境风险评价技术导则》(HJ/T169-2004),国家环境保护总

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书 局;

(7)《环境影响评价技术导则 石油化工建设项目》(HJ/T-2003),国家环境保护局;

(8)《环境影响评价公众参与暂行办法》(环发2006[28]号),国家环境保护总局。 1.2.4项目有关资料 1.2.4.1技术资料

(1)乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响评价委托书,乐山高新区管委会,2007年7月;

(2)《四川新光硅业科技有限责任公司3000t/a太阳能级多晶硅项目可行性研究报告》,中国成达工程公司,2006年6月;

(3)《乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境质量现状监测报告》,乐山市环境监测站,2007年7月;

(4)《年产3000吨多晶硅配套渣场项目》,乐山市环境科学研究所,2007年8月。 1.2.4.2项目文件

(1)《关于乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响评价执行标准的函》,四川省环境保护局,川函[2007]75号;

(2)《关于3000t/a多晶硅项目取水申请的批复》,乐山市水利局,2007年8月;

(3)《关于乐山市中心城区2003年第二批城市建设用地的批复》,四川省,川府土[2003]188号;

(4)《关于乐山市2004年第一批城市建设用地的批复》,四川省,川府土[2005]57号;

(5)《四川省国土资源厅关于乐山市中心城区2001年第二批城市建设用地的批复》,四川省国土资源厅,川国土资建[2002]38号;

(6)《关于对四川省乐山市高新技术开发区区域环境影响报告书的批复》,四川省环境保护局,川环函[2002]121号;

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书 (7)《关于乐山大佛风景名胜区总体规划的函》,中华人民共和国建设部,建城函[2006]344号;

(8)《关于乐山高新技术产业开发区控制性详细规划的批复》,乐山市,乐府函[2005]92号;

(9)《关于四川省乐山高新技术产业开发区年产3000吨多晶硅配套渣场项目环境影响报告表的批复》,乐山市环境保护局,乐市环建管[2007]413号。 1.2.4.3规划文本

(1)《乐山市环境保护“十一五”规划》(初稿),乐山市环境保护局,2005年10月;

(2)《乐山高新技术产业开发区控制性详细规划(修编)》,西南交通大学建筑勘察设计研究院,2005年9月;

(3)《乐山城市总体规划》(2003-2020),上海同济城市规划设计研究院,2004年10月;

(4)《乐山市国民经济河社会发展第十一个五年计划》,乐山市发展和改革委员会,2006年2月;

(5)《四川省乐山市土地利用总体规划》,四川省乐山市,1999年9月;

(6)《乐山大佛风景名胜区总体规划》(2006),四川省城乡规划设计研究院。

1.3评价目的、原则

1.3.1评价目的

根据项目的性质和特点,结合项目所处地区的环境特征和污染特征,分析预测项目建成后对周围环境可能造成的影响及影响范围和程度;提出避免和减少对环境污染的措施;从环保的角度论证项目建设的可行性;为工程设计和项目建成后的环境管理提供基础资料,为环境保护审批提供依据,以实现建设项目的环境效益、社会效益、经济效益的统一。 1.3.2评价原则

本着实事求是、客观公正的精神,根据本项目工程及环境影响复杂的特点,

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书 确定评价原则为:

(1)遵守国家和四川省相关法律法规,符合相关部门规范性文件规定,满足环评技术导则要求;

(2)客观、公正、全面、科学地分析本项目对环境的各种影响; (3)通过现场调查和监测获得第一手数据,保证资料数据的代表性、准确性和时效性,评价方法力求先进、定量、可靠,情景和工况设定尽量接近实际情况,评价结论中提出的对策措施具有可操作性;

(4)贯彻“产业”、“满足规划”、“清洁生产”、“达标排放”、“总量控制”、“循环经济”的原则;

(5)以多种形式进行公众参与。

1.4环境影响评价因子选取

在识别出本项目主要环境影响因素的基础上,筛选出本次评价的污染因子,选择对环境影响较大或环境较为敏感的特征污染因子作为本次评价的评价因子,选取结果见表1-4-1。

表1-4-1 项目评价因子一览表

评价要素 评价类型 污染源调查 环境现状 环境空气 环境影响 总量控制 风险评价 污染源调查 地表水 环境现状 环境影响 总量控制 声环境 固体废物 现状及影响 固废影响 评价因子 烟尘、SO2 SO2、NO2、PM10、TSP、HCL和氟化物 HCL、氟化物、NO2和硅粉尘 硅粉尘、HCL(特征污染物) HCL、氟化物 CODcr、氨氮、SS pH、水温、溶解氧、高锰酸钾指数、生化需氧量、化学需氧量、氨氮、石油类、挥发酚、氟化物、氯化物 废水进入污水处理厂可行性分析 CODcr 连续等效声级dB(A) 工业性固体废物产生量、处置量和处置方式 1.5主要环境控制及保护目标

根据现场调查,结合本项目排污特征和所在区域的环境功能及环境总体控制目标,确定环境空气保护目标为评价区域内居民点、乐山市区、乐山大佛风景名胜区,地表水环境保护目标为岷江,地下水保护目标为厂址所在区域地下水环境,主要保护目标及功能要求见表1-5-1,分布位置见图1-5-1。

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表1-5-1 评价区内主要环境保护目标一览表

环境 类别 序 号 1 2 3 4 环境 空气 5 6 7 8 1 地表水 2 2 相对厂环境保护目标 张家坝 乐山市技工学校 肖公咀(市区) 乐山大佛 车子乡杜家场(大佛山风景区边缘) 车子镇 邢家湾 乐山市城区 岷江 大渡河 青衣江 区域特征 农村 学校 城区 风景区 农村、风景区边缘 城镇 农村 城区 过境河流 水源地 过境河流 址 方位 SW N ENE E SE SSE SE NE E N N 相对厂址 距离(m) 3800 2000 5500 5000 2000 2000 4000 1000~5000 4000 1000 2000 —— 概况 (人数) 1500 10000 —— —— 2000 3000 1800 569107 《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)Ⅲ类标准 满足《地下水质量地下水 1 地下水 厂址所在区域 标准》(GB/T14848-93)Ⅲ类标准 满足《工业企业厂噪声 1 厂界 厂界外1m 界噪声标准》(GB12348-90)Ⅲ类标准 满足《环境空气质量标准》 (GB3095-1996)二级标准(乐山大佛满足一级标准) 环境功能要求 1.6评价等级、评价范围及评价标准

1.6.1评价等级和评价范围

(1)环境空气评价工作等级和评价范围 ① 评价等级

所在区域属于丘陵地形,大气污染物等标排放量计算结果见表1-6-1,根据《环境影响评价技术导则 大气环境》(HJ/T2.2-93)的评价级别计算方法,判定本项目环境空气评价计算工作等级为三级。

表1-6-1 环境空气评价等级计算

污 染 物 排放量 (t/h) 环境标准(mg/m) 3等标排放量(m/h) 3判断值 评 价 级 别 北京京诚嘉宇环境科技有限公司

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书 HCI 硅粉尘 HF NOX 1.9×10 1.0×10 5.0×10 9.0×10 -5-5-4-50.05 1.00* 0.02 0.24 0.38×10 0.1×10 2.5×10 0.375×10 6666一级Pi≥2.5×10 二级2.5×10>Pi≥2.5×10 三级Pi<2.5×10 小于三级 ② 评价范围

环境空气评价范围考虑乐山市城区及乐山大佛风景名胜区,在三级评价基础上对评价范围适当扩大,评价范围确定以厂址为中心,以厂址所在地主导风向为主轴,长10km、宽10km,面积100 km2的矩形区域,见图1-5-1。

(2)水环境评价工作等级和评价范围 ① 评价等级

地表水:根据《环境影响评价技术导则-地面水环境》(HJ/T2.3-93)划分,本项目废水经厂区污水处理站后,达到《污水综合排放标准》GB78-1996 一级标准,通过白滩堰排入岷江,排水量约149m3/d,污水中含COD、盐等,水质复杂程度简单,岷江多年平均流量470~2700m3/s,属于大河。按《关于乐山市地面水水域环境功能类别的规定的通知》,评价河段属Ⅲ类水体,确定本项目地面水环境影响评价为三级。

地下水:本项目所在区域地下水属于《地下水质量标准》 GB/T14848-93的Ⅲ类地区,本项目评价将在场地及周围区域地下水的现状水质、水文地质特征等调查、分析基础上,结合项目特点,对地下水的影响只进行简要分析,提出防止地下水污染的措施建议。

② 评价范围

地表水评价范围:岷江开发区段废水总排口上游1km,下游5km。 地下水现状调查和评价范围:厂区边界外2km范围内。 (3)声环境评价工作等级和评价范围 ① 评价等级

根据《环境影响评价技术导则-声环境》(HJ/T2.4-1995)划分,项目厂址属于乐山高新技术产业开发区,厂界声环境执行3类标准,项目建成后距离声环境保护目标较远,因此确定噪声评价等级为三级。

② 评价范围 厂界外1m。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书 (4)生态评价等级 ① 评价等级

项目占地18.9hm2,属于开发区工业用地,目前土地已平整完毕,根据《环境影响评价技术导则-非污染生态影响》(HJ/T19-1997)规定,对生态环境影响进行简要分析。

② 评价范围 厂界外延1000m

(5)环境风险评价工作等级和评价范围 ① 评价等级

本项目原料、辅助材料、中间产品、产品等主要物料中,三氯氢硅、氟化氢等为有毒物质,存在有毒物料泄漏发生人员伤亡的危险,为具有腐蚀性的物料,具有较强的腐蚀性,对人有灼伤危害。

从本项目生产过程分析,重大危险源主要为物料的贮存场所,生产场所包括罐区。依据本项目的危险特性和使用及贮存数量,生产场所和贮存场所为该项目的主要重大危险源,尤其是罐区的贮存量远大于重大危险源辩识中危险物质的临界量。罐区存在着发生重大火灾、爆炸或毒物泄漏,对环境造成严重污染事故的可能性。

根据《建设项目环境风险评价技术导则》(HJ/T 169-2004)评价工作等级确定原则,本项目环境风险评价的工作等级确定为一级评价。

② 评价范围

环境风险评价范围是以厂址中心为原点,半径为5km的围成的区域,见图1-5-1。 1.6.2评价标准

根据四川省环境保护局《关于乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响评价执行标准的函》(川环评函[2007]75号)批复,本次评价执行的评价标准如下: 1.6.2.1环境质量标准

(1)环境空气

SO2、NO2、TSP、PM10、HF(参考氟化物(F))执行《环境空气质量标准》

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书 (GB3095-1996)二级标准,HCl参考执行《工业企业设计卫生标准》(TJ36-79)中表1“居住区大气中有害物质的最高容许浓度”,标准值见表1-6-2。

表1-6-2 环境空气质量标准 (mg/Nm)

质量标准名称 标准 级别 一级 《环境空气质量标准》 (GB3095-1996) 标准 二级 标准 《工业企业设计卫生标准》(TJ36-79)   污染物 1小时平均 日平均 年平均 1小时平均 日平均 年平均 一次 日均 SO2 0.15 0.05 0.02 0.50 0.15 0.06   NO2 0.12 标准值 TSP  PM10  氟化物 0.020 0.007  0.020 0.007    HCl       0.05 0.015 3

0.08 0.12 0.05 0.04 0.08 0.04 0.24   0.12 0.30 0.15 0.08 0.20 0.10       (2)地表水

地表水岷江厂址段上下游执行《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)Ⅲ类标准,标准值见表1-6-3。

表1-6-3 地表水环境质量标准 (mg/L,pH除外)

序号 1 2 3 4 5 污染物 pH 溶解氧 高锰酸盐数 BOD5 COD Ⅲ类标准限值 6~9 ≥5 ≤6 ≤4 ≤20 序号 6 7 8 9 10 污染物 氨氮 石油类 挥发酚 氟化物 总磷 Ⅲ类标准限值 ≤1.0 ≤0.05 ≤0.005 ≤1.0 ≤0.2 (3)地下水

评价区域地下水执行《地下水质量标准》(GB/T14848-93)Ⅲ类标准,标

准值见表1-6-4。

表1-6-4 地下水质量标准 (mg/L,pH除外)

序号 1 2 3 4 5 项目 pH 总硬度 溶解性总固体 高锰酸盐指数 盐氮 Ⅲ类标准限值 6.5~8.5 ≤450 ≤1000 ≤3.0 ≤20 序号 6 7 8 9 10 项目 亚盐氮 氨氮 氟化物 氰化物 硫酸盐 Ⅲ类标准限值 ≤0.02 ≤0.2 ≤1.0 ≤0.05 ≤250 (4)声环境

厂址区域声环境现状执行《城市区域环境噪声标准》(GB3096-93)3类标准,标准值见表1-6-5。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书 表1-6-5 噪声评价标准

功能区类型 环境噪声 执行的标准和级别 《城市区域环境噪声标准》 (GB3096-93)3类 标准值[dB(A)] 昼间 65 夜间 55 1.6.2.2污染物排放标准

(1)大气污染物

本项目生产中排放的废气执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2新污染源二级排放标准,锅炉执行《锅炉大气污染物排放标准》(GB13217-2001)中Ⅱ时段标准,导热油加热炉执行《工业炉窑大气污染物排放标准》表2二级标准,标准值见表1-6-7~表1-6-9。

表1-6-7 大气污染物排放标准 (mg/Nm)

最高允许 污染物 排放浓度 mg/m3 SO2 NOX(以NO2 计) 颗粒物 HCl HF(参照氟化物标准) 550 排气筒 高度m 15 30 40 15 240 30 40 15 120 20 30 15 100 20 30 15 9.0 30 40 排放速率 kg/h 2.6 15 25 0.77 4.4 7.5 3.5 5.9 23 0.26 0.43 1.4 0.10 0.59 1.0 0.02 0.20 1.0 GB16297-1996 表2 中二级 0.12 0.4 无组织监控 浓度限值 mg/m3 备注 3

表1-6-8锅炉大气污染物排放标准

锅炉类别 燃气锅炉 燃气 烟尘 10 烟气黑度 Ⅰ SO2 100 NOX 400

1-6-9 工业炉窑大气污染物排放标准

炉窑类别 加热炉 非金属加热炉 烟尘 200 北京京诚嘉宇环境科技有限公司

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书 (2)水污染物

本项目生产过程中排出的工艺污水先进入厂区的污水处理站,处理达标后通过白滩堰排入岷江。排水执行《污水综合排放标准》GB78-1996 一级标准。具体标准值见表1-6-10。

表1-6-10 污水综合排放标准 (mg/L,pH除外)

项目 pH(无量纲) SS CODcr 氨氮 BOD5 石油类 氟化物 标准值 6~9 70 100 15 20 5 10 《污水综合排放标准》GB78-1996 一级标准 备注 (3)噪声

厂界执行《工业企业厂界噪声标准》(GB 12348-90)Ⅲ类标准,施工噪声《建筑施工厂界噪声限值》(GB12523-90)标准,标准值见表1-6-11。

表1-6-11 噪声评价标准

标准名称和类别 《工业企业厂界噪声标准》(GB12348-90)Ⅲ类标准 《建筑施工厂界噪声限值》(GB12523-90) 噪声限值(dB) 昼间 65 65-85 夜间 55 55 1.6.2.3控制标准

(1)固体废物执行《危险废物鉴别标准》(GB5085.1~3-1996)、《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》(GB18599-2001)及《危险废物贮存污染控制标准》(GB12525-2001);

(2)《环境保护图形标志排放口(源)》(GB15562.1-1995);

(3)《环境保护图形标志 固体废物贮存(处置)场》(GB155562.2-1995) (4)重大危险源识别采用《重大危险源辩识》GB18218-2000。

1.7评价重点

(1)工程分析;

(2)环境质量现状调查与评价; (3)环境空气影响预测与评价;

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书 (4)污染防治措施及其技术可行性分析。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书 2.工程概况

2.1建设项目名称、地点和建设性质

项目名称:乐山高新区3000t/a多晶硅项目 项目性质:新建

建设地点:乐山高新技术产业开发区建业大道以南,乐高大道和茶山路之间。

2.2建设规模、产品方案及年操作时间

2.2.1建设规模

多晶硅装置 3000吨/年

2.2.2产品方案

主产品 3000吨/年电路级多晶硅

副产物 四氯化硅(高沸物,工业级,含SiCl4 ≥95%) 三氯氢硅(低沸物,工业级,含SiHCl3 ≥94%)

2.2.3年操作时间

本项目年操作时间7440小时。

2.3产品性质、规格及用途

2.3.1多晶硅(Si,产品) 2.3.1.1性质

多晶硅 具灰色金属光泽,熔点 1410℃、沸点 2355℃、密度 2.32~2.34,溶于氢氟酸和的混酸中,不溶于水、和盐酸。

多晶硅按纯度分类可以分为冶金用硅、太阳能级、电子级。冶金用硅是硅的氧化物在电弧炉中被碳还原而成,一般纯度为97~99.3%,最高可达99.8%以上。电子级硅一般要求纯度高于99.9999%以上,超高纯达到99.9999999%~99.999999999%(一般称9个9至11个9),其导电性介于10-4~1010欧厘米。太阳能级多晶硅纯度介于冶金级硅与电子级硅之间,至今未有明确界定。一般认为纯度在99.9999%左右。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书 2.3.1.2规格

本项目多晶硅产品的规格和质量指标见表2-3-1。

表2-3-1 多晶硅产品规格和质量指标

指标名称 Si 受主水平 施主水平 B含量 P含量 C含量 体内金属含量 形态 表面金属杂质含量: Fe Cu Ni Cr Zn Na 产品规格及质量指标 99.99999% w(太阳能级) N-3000Ω.cm P-300Ω.c ≤0.003ppb w ≤0.3ppb ≤100ppb <0.5ppb w (Fe 、Cu、Zn、Cr、Ni) 表面无氧化夹杂物,呈银灰色,带有金属光泽, 0.25ppb a/0.5ppb w 0.025ppb a/0.05ppb w 0.05ppb a/0.1ppb w 0.055ppb a/0.1ppb w 0.13ppb a/0.3ppb w 0.98ppb a/0.8ppb w 2.3.1.3产品用途

多晶硅材料是以金属硅为原料经一系列的物理化学反应提纯后达到一定纯度的硅材料,是硅产品产业链中的一个极为重要的中间产品。是电子工业中广泛用于制造半导体收音机、录音机、电冰箱、彩电、录像机、电子计算机等的基础材料。

多晶硅是单晶硅及硅片产品的唯一原料,用多晶硅加工制成的硅片(硅抛光片、太阳能级硅片)主要用于制作集成电路、整流元件、功率晶体管、分立器件、探测器、太阳能电池等半导体器件。 2.3.2四氯化硅(SiCl4,副产物) 2.3.2.1性质

四氯化硅 无色透明发烟液体,具有难闻的窒息性气味。熔点 -70℃、沸点 57.57℃、相对密度 1.483,可与苯、乙醚、氯仿、石油醚、四氯化碳、四氯化锡、四氯化钛、一氯及二氯化硫以任何比例混溶。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书 2.3.2.2规格

四氯化硅(高沸物) 工业级 含SiCl4 ≥95% 2.3.3.3产品用途

用于制硅酸酯类、有机硅单体、有机硅油、高温绝缘材料、硅树脂、硅橡胶等,也用作烟幕剂。

2.3.3三氯氢硅(SiHCl3,副产物) 2.3.3.1性质

三氯氢硅 无色液体。熔点 -126.5℃、沸点 33℃、相对密度 1.34,溶解性 能溶于二硫化碳、四氯化碳、氯仿、苯等。 2.3.3.2规格

三氯氢硅(低沸物) 工业级 含SiHCl3 ≥94% 2.3.3.3产品用途

用作高分子有机硅化合物的原料,也是生产半导体硅、单晶硅的原料。

2.4项目组成

本项目多晶硅生产装置以及配套的公用工程和辅助设施详见表2-4-1。

表2-4-1 项目组成一览表

序号 项目分类 主要内容 ·3000t/a太阳能级多晶硅装置 包括:三氯氢硅合成、合成气干法分离、氯硅烷分离提纯、一 主体工程 三氯氢硅氢还原、还原尾气干法分离、四氯化硅氢化、氢化气干法分离、氯硅烷贮存、硅芯制备、产品整理、废气和残液处理、工艺废料处理 二 公用工程 ·供水、排水、循环水、脱盐水、供电、电讯、自动控制系统、供热、冷冻站、空压制氮站、分析及监测 扬尘、废水、建渣、机械噪声 ·储运设施、维修、污水处理站、渣场 废气、废水、固废、噪声 废气、废水、噪声 废水、无组织废气、固废、噪声 四 办公及生活 设施 ·拟建厂前区,设办公楼和倒班宿舍等。本项目定员约 人。 废水、固废 主要环境问题 施工期 营运期 三 贮运及辅助设施 北京京诚嘉宇环境科技有限公司

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 2.5主要工艺技术方案、工艺流程及产污分析

2.5.1工艺技术方案

目前国际上多晶硅生产工艺有70%以上均采用改良西门子法,如:德国WACKER公司、美国HSC公司、日本德山、三菱、住友公司、意大利MEMC公司、国内的洛阳中硅集团、峨嵋半导体材料厂以及新光硅业科技公司的1260吨/年多晶硅装置等的生产工艺均属此类,均经由三氯氢硅的氢还原反应获得多晶硅产品。

另有硅烷法多晶硅生产工艺,是用硅烷进行热分解生成多晶硅。与经由三氯氢硅反应的改良西门子法相比,该方法对生产的安全性要求及总生产成本均更高,故此法采用不多,其技术的改进和提高还在研究中。

随着光伏产业的飞速发展,太阳能级多晶硅的需求迅速增长,新一代低成本多晶硅工艺技术的研究空前活跃。如:德山曹达的熔融析出法(VLD工艺),采用筒状反应炉,析出液体状硅;瓦克的沸腾床法,采用FBR型反应器,生成粒状硅等等,但这些工艺均尚处于研究或试验阶段。 2.5.2工艺技术路线的确定

从以上所述多晶硅生产的主要工艺技术的现状和发展趋势来看,改良西门子工艺能够兼容电子级和太阳能级多晶硅的生产,以其技术成熟、适合产业化生产等特点,仍是目前多晶硅生产普遍采用的首选工艺。故本项目1500吨/年电路级多晶硅装置采用改良西门子法生产多晶硅。

目前国内采用改良西门子法生产多晶硅的技术来源,主要有国内自有技术、引进俄罗斯技术和引进欧洲(德国、意大利等国)技术、引进美国GT公司、DEI公司技术等。国内技术整体上还不很成熟,原料和公用工程(电等)消耗较高,但软件费用低;俄罗斯技术,原料和公用工程消耗比国内技术略低,在国内已有在建装置;美国公司的生产技术先进,也较为成熟,消耗比国内技术低,但软件费用相当昂贵,而且还有出口等问题。三种技术均可选,在技术谈判和商务谈判阶段需进一步综合比较方可选定。本可研,暂按引进技术结合国内技术考虑。

工艺流程见图2-5-1。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 2.5.3反应原理

3000吨/年电子级多晶硅装置工艺流程由以下主要工序组成: (1) 三氯氢硅合成工序 (2) 合成气干法分离工序 (3) 氯硅烷分离提纯工序 (4) 三氯氢硅氢还原工序 (5) 还原尾气干法分离工序 (6) 四氯化硅氢化工序 (7) 氢化气干法分离工序 (8) 氯硅烷贮存工序 (9) 硅芯制备工序 (10) (11) (12)

产品整理工序 废气和残液处理工序 工艺废料处理工序

2.5.3.1三氯氢硅合成

在一定温度下,晶体硅与氯化氢的发生反应生成三氯氢硅和四氯化硅。同时,生成硅的高氯化物的副反应,生成SinCl2n+2系的聚氯硅烷及SinHmCl(2n+2)-m类型的衍生物。

主反应:

Si3HClSiHCl3H2 Si4HClSiCl42H2 副反应

2Si6HClSi2Cl63H2 2Si5HClSi2HCl52H2 2.5.3.2合成气干法分离工序

经三级旋风除尘器组成的干法除尘系统除去部分硅粉,经低温氯硅烷液体洗涤、分离成氯硅烷液体、氢气和氯化氢气体,分别循环回装置使用。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 2.5.3.3氯硅烷分离提纯工序

氯硅烷的分离和提纯是根据加压精馏的原理,通过采用合理节能工艺来实现的。该工艺可以保证制备高纯的用于多晶硅生产的三氯氢硅和四氯化硅(用于氢化)。

氯硅烷的冷凝物输往其深度净化单元,主要有:

●将主体组分进行分离(三氯氢硅,四氯化硅及聚氯硅烷) ●将三氯氢硅中的杂质形态稳定化

●将低沸点的杂质和高沸点的杂质从三氯氢硅中进行深度清除 ●清除四氯化硅中的高沸点杂质 ●将聚氯硅烷和固体颗粒浓缩

●将氢还原和氢化设备中的冷凝物进行分离和提纯

2.5.3.4三氯氢硅氢还原工序

在原始方形硅芯棒上沉积多晶硅。 2.5.3.5还原尾气干法分离工序

还原尾气干法分离的原理和流程与三氯氢硅合成气干法分离工序十分类似。 2.5.3.6四氯化硅氢化工序

在三氯氢硅的氢还原过程中生成四氯化硅,在将后者冷凝和脱除三氯氢硅之后进行热氢化,转化为三氯氢硅。

SiCl4H2SiHCl3HCl 2.5.3.7氢化气干法分离工序

从四氯化硅氢化工序来的氢化气经此工序被分离成氯硅烷液体、氢气和氯化氢气体,分别循环回装置使用。氢化气干法分离的原理和流程与三氯氢硅合成气干法分离工序十分类似。 2.5.3.8硅芯制备工序

硅芯制备过程中,需要用氢氟酸和对硅芯进行腐蚀处理,再用超纯水洗净硅芯,然后对硅芯进行干燥。

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2.5.3.9产品整理工序

用氢氟酸和对块状多晶硅进行腐蚀处理,再用超纯水洗净多晶硅块,然后对多晶硅块进行干燥。 2.5.3.10废气和残液处理工序

A.废气净化

用10%NaOH溶液洗涤,废气中的氯硅烷(以SiHCl3为例)和氯化氢与NaOH发生反应而被除去:

SiHCl33H2OH2SiO33HClH2 H2SiO32NaOHNa2SiO32H2O HClNaOHNaClH2O 废气经液封罐放空。

含有NaCl、Na2SiO3的出塔底洗涤液用泵送入工艺废料处理工序。 B.残液处理

从氯硅烷分离提纯工序中排除的残液主要含有四氯化硅和聚氯硅烷化合物的液体以及装置停车放净的氯硅烷液体加入石灰乳液中和废液中的氯硅烷等和而被转化成无害的物质。

水解和中和反应

2SiHCl33CaO5H2O2H4SiO43CaCl2H2 SiCl42CaO2H2OH4SiO43CaCl2

SiCl63CaO5H2O2H4SiO43CaCl2H2 Si2OCl66CaO8H2O4H4SiO46CaCl2

经过规定时间的处理,用泵从槽底抽出含H4SiO4、NaCl2、H4SiO4、Na2SiO3的液体,送往工艺废料处理工序。 2.5.3.11工艺废料处理工序

A.Ⅰ类废液处理

来自氯化氢合成工序的废酸、液氯汽化工序的废碱、废气残液处理工序和废硅粉处理的废液等在此工序进行混合、中和后,经过压滤机过滤。滤渣(主要为

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 SiO2、NaCl等)送渣厂堆埋。滤液主要为NaCl溶液,进行蒸发、浓缩和结晶。蒸发冷凝液循环利用(配置NaOH溶液),结晶固体氯化钠等外售或填埋。

B.Ⅱ类废液处理

来自硅芯制备工序和产品整理工序的废氢氟酸和废,用碱液中和,生成的氟化钠和钠溶液,进行蒸发、浓缩和结晶。蒸发冷凝液循环利用(配置NaOH溶液),结晶固体氟化钙和钠等外售或填埋。

在对废弃的酸洗溶液和处理石灰乳液时产生的污水进行混匀时发生的矿物酸中和伴随着下列方应:

NaOHHNO3NaNO3H2O 2HFCa(OH)2CaF22H2O

2HNO3Ca(OH)2Ca(NO3)22H2O H2SO4Ca(OH)2CaSO42H2O 2.5.4工艺流程及产污分析 2.5.4.1氢气制备与净化工序

在电解槽内经电解脱盐水制得氢气。电解制得的氢气经过冷却、分离液体后,进入除氧器,在催化剂的作用下,氢气中的微量氧气与氢气反应生成水而被除去。除氧后的氢气通过一组吸附干燥器而被干燥。净化干燥后的氢气送入氢气贮罐,然后送往氯化氢合成、三氯氢硅氢还原、四氯化硅氢化工序。

电解制得的氧气经冷却、分离液体后,送入氧气贮罐。出氧气贮罐的氧气送去装瓶或放空。

2.5.4.2三氯氢硅合成工序

原料硅粉经吊运,通过硅粉下料斗而被卸入硅粉接收料斗。硅粉从接收料斗放入下方的中间料斗,经用热氯化氢气置换料斗内的气体并升压至与下方料斗压力平衡后,硅粉被放入下方的硅粉供应料斗。供应料斗内的硅粉用安装于料斗底部的星型供料机送入三氯氢硅合成炉进料管。

从氯化氢合成工序来的氯化氢气,与从循环氯化氢缓冲罐送来的循环氯化氢气混合后,引入三氯氢硅合成炉进料管,将从硅粉供应料斗供入管内的硅粉挟带并输送,从底部进入三氯氢硅合成炉。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 在三氯氢硅合成炉内,硅粉与氯化氢气体形成沸腾床并发生反应,生成三氯氢硅,同时生成四氯化硅、二氯二氢硅、金属氯化物、聚氯硅烷、氢气等产物,此混合气体被称作三氯氢硅合成气。反应大量放热。合成炉外壁设置有水夹套,通过夹套内水带走热量维持炉壁的温度。

出合成炉顶部挟带有硅粉的合成气,经三级旋风除尘器组成的干法除尘系统除去部分硅粉后,送入湿法除尘系统,被四氯化硅液体洗涤,气体中的部分细小硅尘被洗下;洗涤同时,通入湿氢气与气体接触,气体所含部分金属氧化物发生水解而被除去。除去了硅粉而被净化的混合气体送往合成气干法分离工序。 2.5.4.3合成气干法分离工序

从三氯氢硅氢合成工序来的合成气在此工序被分离成氯硅烷液体、氢气和氯化氢气体,分别循环回装置使用。

三氯氢硅合成气流经混合气缓冲罐,然后进入喷淋洗涤塔,被塔顶流下的低温氯硅烷液体洗涤。气体中的大部份氯硅烷被冷凝并混入洗涤液中。出塔底的氯硅烷用泵增压,大部分经冷冻降温后循环回塔顶用于气体的洗涤,多余部份的氯硅烷送入氯化氢解析塔。

出喷淋洗涤塔塔顶除去了大部分氯硅烷的气体,用混合气压缩机压缩并经冷冻降温后,送入氯化氢吸收塔,被从氯化氢解析塔底部送来的经冷冻降温的氯硅烷液体洗涤,气体中绝大部分的氯化氢被氯硅烷吸收,气体中残留的大部分氯硅烷也被洗涤冷凝下来。出塔顶的气体为含有微量氯化氢和氯硅烷的氢气,经一组变温变压吸附器进一步除去氯化氢和氯硅烷后,得到高纯度的氢气。氢气流经氢气缓冲罐,然后返回氯化氢合成工序参与合成氯化氢的反应。吸附再生气含有氢气、氯化氢和氯硅烷,送往废气处理工序进行处理。

出氯化氢吸收塔底溶解有氯化氢气体的氯硅烷经加热后,与从喷淋洗涤塔底来的多余的氯硅烷汇合,然后送入氯化氢解析塔中部,通过减压蒸馏操作,在塔顶得到提纯的氯化氢气体。出塔氯化氢气体流经氯化氢缓冲罐,然后送至设置于三氯氢硅合成工序的循环氯化氢缓冲罐;塔底除去了氯化氢而得到再生的氯硅烷液体,大部分经冷却、冷冻降温后,送回氯化氢吸收塔用作吸收剂,多余的氯硅烷液体(即从三氯氢硅合成气中分离出的氯硅烷),经冷却后送往氯硅烷贮存工序的原料氯硅烷贮槽。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 2.5.4.5氯硅烷分离提纯工序

在三氯氢硅合成工序生成,经合成气干法分离工序分离出来的氯硅烷液体送入氯硅烷贮存工序的原料氯硅烷贮槽;在三氯氢硅还原工序生成,经还原尾气干法分离工序分离出来的氯硅烷液体送入氯硅烷贮存工序的还原氯硅烷贮槽;在四氯化硅氢化工序生成,经氢化气干法分离工序分离出来的氯硅烷液体送入氯硅烷贮存工序的氢化氯硅烷贮槽。原料氯硅烷液体、还原氯硅烷液体和氢化氯硅烷液体分别用泵抽出,送入氯硅烷分离提纯工序的不同精馏塔中。

从原料氯硅烷贮槽送来的原料氯硅烷液体经预热器预热后,从中部送入1级精馏塔,进行除去低沸物的精馏操作。塔顶排出不凝气体和部分二氯二氢硅,送往废气处理工序进行处理;塔顶馏出液为含有低沸点和高沸点杂质的三氯氢硅冷凝液,依靠压差送入2级精馏塔;塔釜得到含杂质的四氯化硅,用泵送四氯化硅回收塔进行处理。

2级精馏塔为反应精馏,是通过用湿润的氮对三氯氢硅处理,把其中易于水解的杂质化合物转化成难于挥发的形态,以便用精馏的方法除去。2级精馏为双系列生产线。2级精馏塔塔顶排出不凝气体同样送往废气处理工序进行处理;塔顶馏出三氯氢硅冷凝液,依靠压差送入沉淀槽;塔釜含悬浮物的釜液,用泵送至四氯化硅回收塔进行处理。

3级精馏目的是脱除三氯氢硅中的低沸点杂质。三氯氢硅清液经三级进料预热器后,进入3级精馏塔中部。塔顶馏出含有二氯硅烷和三氯氢硅的冷凝液,靠位差流至二级三氯氢硅槽;塔底釜液为三氯氢硅,用泵送入4级精馏塔。

4级、5级精馏目的是分两段脱除三氯氢硅中的高沸点杂质。3级釜液送入4级精馏塔中部。4级塔顶馏出三氯氢硅冷凝液,靠位差流至5级精馏塔,进行脱除高沸点杂质的第二阶段。5级塔顶馏出的三氯氢硅冷凝液送入五级冷凝液槽,一个贮槽注满后分析三氯氢硅是否符合工业级三氯氢硅对杂质含量的要求,在分析有效的情况下,工业级精制的三氯氢硅从贮槽靠位差流至8级精馏塔。4级、5级塔釜排出的含有高沸点杂质的三氯氢硅,用泵送入二级三氯氢硅槽。

从5级塔顶馏出的三氯氢硅,在6级精馏塔进行最终脱除三氯氢硅中的高沸点杂质的过程。6级塔顶馏出物为去除了高、低沸点杂质的精制三氯氢硅,分析符合多晶硅生产的质量要求后,靠位差流至多晶硅制取工序。塔底釜液为含高沸

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 点杂质的三氯氢硅,用泵送至二级三氯氢硅槽。

还原氯硅烷冷凝液经7级进料预热器进入7级精馏塔。塔顶馏出物为三氯氢硅,靠位差流至8级精馏塔;塔底釜液为四氯化硅,经分析符合质量要求后,用泵将其部分送去四氯化硅加氢,部分送往氯硅烷贮存工序的工业级四氯化硅贮槽。

8级精馏塔用于还原氯硅烷中高沸点杂质的脱除。塔顶馏出物是精制的循环三氯氢硅,送入8级冷凝液槽,经分析符合质量要求后,精制三氯氢硅靠位差循环回多晶硅制取工序。塔底釜液是含有高沸点馏份的三氯氢硅,用泵送至二级三氯氢硅槽。

四氯化硅氢化后的氯硅烷冷凝液,经9级进料预热器连续送入9级精馏塔。塔顶的馏出物是三氯氢硅,连续送往10级精馏塔,进行进一步精馏。塔底釜液是含有高沸点杂质的四氯化硅,用泵连续送往11级精馏塔。

9级精馏塔塔顶馏出的三氯氢硅在10级精馏塔中脱除高沸点杂质。10级精馏塔塔顶馏出物是精制的循环三氯氢硅,送入10级冷凝液槽,经分析符合质量要求后,精制三氯氢硅靠位差循环回多晶硅制取工序。塔底釜液是含有高沸点馏份的三氯氢硅,用泵送至二级三氯氢硅槽。

11级精馏塔的进料为9级精馏塔釜液。塔顶馏出物是精制的循环四氯化硅,经分析符合质量要求后,用泵送去四氯化硅加氢工序。塔底釜液是含有高沸点杂质的四氯化硅,送往氯硅烷贮存工序的工业级四氯化硅贮槽。 2.5.4.6三氯氢硅氢还原工序

经氯硅烷分离提纯工序精制的三氯氢硅,送入本工序的三氯氢硅汽化器,被热水加热汽化;从还原尾气干法分离工序返回的循环氢气流经氢气缓冲罐后,也通入汽化器内,与三氯氢硅蒸汽形成一定比例的混合气体。

从三氯氢硅汽化器来的三氯氢硅与氢气的混合气体,送入还原炉内。在还原炉内通电的炽热硅芯/硅棒的表面,三氯氢硅发生氢还原反应,生成硅沉积下来,使硅芯/硅棒的直径逐渐变大,直至达到规定的尺寸。氢还原反应同时生成二氯二氢硅、四氯化硅、氯化氢和氢气,与未反应的三氯氢硅和氢气一起送出还原炉,经还原尾气冷却器用循环冷却水冷却后,直接送往还原尾气干法分离工序。

还原炉炉筒夹套通入热水,以移除炉内炽热硅芯向炉筒内壁辐射的热量,维

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 持炉筒内壁的温度。出炉筒夹套的高温热水送往热能回收工序,经废热锅炉生产水蒸汽而降温后,循环回本工序各还原炉夹套使用。 2.5.4.7还原尾气干法分离工序

从三氯氢硅氢还原工序来的还原尾气经此工序被分离成氯硅烷液体、氢气和氯化氢气体,分别循环回装置使用。

还原尾气干法分离的原理和流程与三氯氢硅合成气干法分离工序十分类似。从变温变压吸附器出口得到的高纯度的氢气,流经氢气缓冲罐后,大部分返回三氯氢硅氢还原工序参与制取多晶硅的反应,多余的氢气送往四氯化硅氢化工序参与四氯化硅的氢化反应;吸附再生的废气送往废气处理工序进行处理;从氯化氢解析塔顶部得到提纯的氯化氢气体,送往放置于三氯氢硅合成工序的循环氯化氢缓冲罐;从氯化氢解析塔底部引出的多余的氯硅烷液体(即从三氯氢硅氢还原尾气中分离出的氯硅烷),送入氯硅烷贮存工序的还原氯硅烷贮槽。 2.5.4.8四氯化硅氢化工序

经氯硅烷分离提纯工序精制的四氯化硅,送入本工序的四氯化硅汽化器,被热水加热汽化。从氢气制备与净化工序送来的氢气和从还原尾气干法分离工序来的多余氢气在氢气缓冲罐混合后,也通入汽化器内,与四氯化硅蒸汽形成一定比例的混合气体。

从四氯化硅汽化器来的四氯化硅与氢气的混合气体,送入氢化炉内。在氢化炉内通电的炽热电极表面附近,发生四氯化硅的氢化反应,生成三氯氢硅,同时生成氯化氢。出氢化炉的含有三氯氢硅、氯化氢和未反应的四氯化硅、氢气的混合气体,送往氢化气干法分离工序。

氢化炉的炉筒夹套通入热水,以移除炉内炽热电极向炉筒内壁辐射的热量,维持炉筒内壁的温度。出炉筒夹套的高温热水送往热能回收工序,经废热锅炉生产水蒸汽而降温后,循环回本工序各氢化炉夹套使用。 2.5.4.9氢化气干法分离工序

从四氯化硅氢化工序来的氢化气经此工序被分离成氯硅烷液体、氢气和氯化氢气体,分别循环回装置使用。

氢化气干法分离的原理和流程与三氯氢硅合成气干法分离工序十分类似。从

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 变温变压吸附器出口得到的高纯度氢气,流经氢气缓冲罐后,返回四氯化硅氢化工序参与四氯化硅的氢化反应;吸附再生的废气送往废气处理工序进行处理;从氯化氢解析塔顶部得到提纯的氯化氢气体,送往放置于三氯氢硅合成工序的循环氯化氢缓冲罐;从氯化氢解析塔底部引出的多余的氯硅烷液体(即从氢化气中分离出的氯硅烷),送入氯硅烷贮存工序的氢化氯硅烷贮槽。 2.5.4.10氯硅烷贮存工序

本工序设置以下贮槽:100m3氯硅烷贮槽、100m3工业级三氯氢硅贮槽、100m3工业级四氯化硅贮槽、50 m3氯硅烷紧急排放槽等。

从合成气干法分离工序、还原尾气干法分离工序、氢化气干法分离工序分离得到的氯硅烷液体,分别送入原料、还原、氢化氯硅烷贮槽,然后氯硅烷液体分别作为原料送至氯硅烷分离提纯工序的不同精馏塔。

在氯硅烷分离提纯工序3级精馏塔顶部得到的三氯氢硅、二氯二氢硅的混合液体,在4、5级精馏塔底得到的三氯氢硅液体,及在6、8、10级精馏塔底得到的三氯氢硅液体,送至工业级三氯氢硅贮槽,液体在槽内混合后作为工业级三氯氢硅产品外售。 2.5.4.11硅芯制备工序

采用区熔炉拉制与切割并用的技术,加工制备还原炉初始生产时需安装于炉内的导电硅芯。硅芯制备过程中,需要用氢氟酸和对硅芯进行腐蚀处理,再用超纯水洗净硅芯,然后对硅芯进行干燥。酸腐蚀处理过程中会有氟化氢和氮氧化物气体逸出至空气中,故用风机通过罩于酸腐蚀处理槽上方的风罩抽吸含氟化氢和氮氧化物的空气,然后将该气体送往吸附装置进行处理,达标排放。 2.5.4.12产品整理工序

在还原炉内制得的多晶硅棒被从炉内取下,切断、破碎成块状的多晶硅。用氢氟酸和对块状多晶硅进行腐蚀处理,再用超纯水洗净多晶硅块,然后对多晶硅块进行干燥。酸腐蚀处理过程中会有氟化氢和氮氧化物气体逸出至空气中,故用风机通过罩于酸腐蚀处理槽上方的风罩抽吸含氟化氢和氮氧化物的空气,然后将该气体送往吸附装置进行处理,达标排放。经检测达到规定的质量指标的块状多晶硅产品送去包装。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 2.5.4.13废气和残液处理工序

A.废气净化

氯硅烷分离提纯工序各精馏塔顶排放的含氯硅烷、氮气的废气,及含氯硅烷、氢气、氮气、氯化氢的多晶硅还原炉置换吹扫气和多晶硅还原炉事故排放气等,被送进尾气洗涤塔(此塔一开一备),用10%NaOH溶液洗涤,废气中的氯硅烷(以SiHCl3为例)和氯化氢与NaOH发生以下反应而被除去:

SiHCl3+3H2O=H2SiO3+3HCl+H2 H2SiO3+2NaOH=Na2SiO3+ 2H2O HCl+NaOH=NaCl+H2O 废气经液封罐放空。

含有NaCl、Na2SiO3的出塔底洗涤液用泵送入工艺废料处理工序。 B.残液处理

从氯硅烷分离提纯工序中排除的残液主要含有四氯化硅和聚氯硅烷化合物的液体以及装置停车放净的氯硅烷液体送到本工序加以处理。

需要处理的液体被送入残液收集槽。然后用氮气将液体压出,送进灌注有10%碱液的残液处理槽。通过不停地搅拌,废液中的氯硅烷与NaOH和水发生反应而被转化成无害的物质。

从槽顶逸出的气体,引入尾气处理塔。

经过规定时间的处理,用泵从槽底抽出含H4SiO4、NaCl2、H4SiO4、Na2SiO3的液体,送往工艺废料处理工序。 2.5.4.14工艺废料处理工序

A.Ⅰ类废液处理

来自氯化氢合成工序的废酸、液氯汽化工序的废碱、废气残液处理工序和废硅粉处理的废液等在此工序进行混合、中和后,经过压滤机过滤。滤渣(主要为SiO2、NaCL等)送渣厂堆埋。滤液主要为NaCL溶液,进行蒸发、浓缩和结晶。蒸发冷凝液循环利用(配置NaOH溶液),结晶固体氯化钠等外售或填埋。

B.Ⅱ类废液处理

来自硅芯制备工序和产品整理工序的废氢氟酸和废,用碱液中和,生成的氟化钠和钠溶液,进行蒸发、浓缩和结晶。蒸发冷凝液循环利用(配置

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 NaOH溶液),结晶固体氟化钠和钠等外售或填埋。

2.6建设项目排污状况分析

2.6.1废气

废气主要为正常时废气处理工序尾气、产品后处理和硅芯制备工序酸性废气等,主要废气污染物为HCl、NOx、氯硅烷、HF等。

多晶硅项目有组织废气污染源状况见表2-6-1。

表2-6-1 废气排放状况 装置 序名称 号 排放源 废气 名称 排放量 (Nm/h) 3污染物组成 (vol) 硅尘 20mg/m3 排放特性 温度 (℃) 常温 压力 (Pa) 常压 规律 排放方式 及去向 排空 间断 (H=15m φ=0.2m) 排空 1 硅尘除尘系统 排气 5000 (0.1kg/h) HCl 97mg/m3 200 2 多 晶 硅 废气处理工序3 酸性废气处理塔 开工导热油加热炉 6000 (最大) 排气 ~20000 废气处理工序尾气洗涤塔 排气 (正常) 3000 (最大) (0.019kg/h) H2 95~5% N2 5~95% 氯硅烷微量 HF 2.5mg/m3 常温 微正压 连续 (H=15m φ=0.2m) (0.05kg/h) NOX 4.5mg/m3 排空 常温 微正压 连续 (H=15m φ=0.2m) 间断 250 常压 (开车时) 排空 (H=20m φ=0.2m) (0.09kg/h) SO2 ≤50mg/m NO2 ≤350mg/m 烟尘 ≤10mg/m 3334 烟气 无组织排放 硅尘6.0t/a(0.8kg/h)、HCl 1.5t/a(0.20kg/h)、HF0.08t/a (0.01kg/h) 注:生产时间7440小时/年 2.6.2废水

废水主要为正常时产品后处理和硅芯制备工序水洗废水、装置区设备/地坪冲洗水、生活污水,以及循环水、脱盐水系统排出的假定清净下水。其中生产、生活污水经处理后排放,假定清净下水直接排放;主要废水污染物为SS、COD、盐等。

多晶硅项目废水排放状况见表2-6-2。

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表2-6-2 废水排放一览表

装置 序名称 号 废水 名称 排放量 (t/h) 污染物组成 (wt) 排放特性 温度 压力 (℃) (Pa) 规律 排放方式 及去向 经厂污水处1 多晶硅 2 产品后处理和 硅芯制备工序 水洗废水 10(平均) 22(最大) HF和HNO3 常温 常压 间断 理站处理达标后至厂总排口 工艺废料处理工序蒸发冷凝(Ⅰ类废液) 设备、地坪冲洗、 分析化验 液 1 常温 常压 连续 回用,不外排 经厂污水处装置区 3 废水 6 COD、pH<7 常温 常压 间断 理站处理达标后至厂总排口 4 循环水系统 排水 100 COD 60mg/L SS 40mg/L COD 60mg/L 排水 28 SS 40mg/L pH 6-9 COD 400mg/L 厂内生活设施 生活污水 5 BOD5 100mg/L SS 250mg/L NH3-N 35mg/L pH 6~9 COD ≤100mg/L 7 污水处理站 排水 21 (平均) BOD5≤20mg/L SS ≤70mg/L NH3-N≤15mg/L 氟化物≤10mg/L 本项目外排废水量149t/h(平均) 总 量 其中:污水21t/h送厂污水处理站处理达标后至厂总排口;假定清净下水128 t/h直接排放 常温 常压 连续 达标排放 常温 常压 间断 直接排至厂常温 常压 连续 区净下水管网 直接排至厂常温 常压 连续 区净下水管网 经厂污水处理站处理达标后至厂总排口 排放源 5 脱盐水/高纯水站 中和池 公用工程及辅6 助设施 2.6.3固废

主要固体废弃物为原料制备和SiHCl3合成工序产生的硅粉、工艺废料处理工序产生的NaCl和SiO2固体废物、酸洗废液处理工序产生的Ca(NO3)2/CaF2固体废物。多晶硅装置固体废物排放状况见表2-6-3。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 表2-6-3(a) 固体废物排放状况

装置名称 多 晶 硅 序号 1 2 固废来源及名称 废硅粉 废石渣及污泥 组成及特 性数据 Si 主要成分:CaF2 含水80% 排放 规律 间断 间断 排放量 200t/a 2310t/a 排放方式 及去向 送渣场堆存 压滤后送渣场堆存 表2-6-3(b) 固体废物排放状况

装置 序名称 号 废液 名称 产生量 (t/h) 污染物组成 (wt) 排放特性 温度 压力 (℃) (Pa) 规律 排放方式 及去向 NaOH中和后送工1 提纯工序 精馏残液 466 含氯硅烷 SiO2 12.1% 洗涤液 2.5 NaCl 36.7% H2O 51.2% 酸洗废酸 1270t/a HF 10% HNO3 90% 常温 常压 连续 常温 常压 连续 艺废料处理工序(Ⅰ类废液) 多晶硅 2 废气处理工序 尾气淋洗塔 产品后处理和硅芯制备工序 送工艺废料处理工序(Ⅰ类废液) 石灰乳中和后送常温 常压 间断 工艺废料处理工序(Ⅱ类废液) 排放源 3 2.6.4噪声

主要产噪设备为机泵、压缩机和放空管,均采用了消声、隔声等措施。

本项目主要噪声状况见表2-6-4。

表2-6-4 噪声产生状况

装置 名称 序号 1 公用工程 噪声源名称 声源强度dB(A) 100 工作特性 消声措施 消声后声压级 dB(A) <85 空气分离装置 连续 消声器及隔音操作室 2 冷冻机 100 间断 消声器及隔音操作室 <85 3 空压机 100 连续 消声器及隔音操作室 <85

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 3.环境现状调查与评价

3.1自然环境特征

3.1.1地理位置

乐山市位于四川盆地的西南部,岷江、青衣江和大渡河三江汇合处,在历史上一直是成都平原、川西山地和大小凉山之间相互交往以及通向长江流域各处的必经之地,是具有三千多年悠久历史和灿烂文化的历史名城。乐山市北连成都平原,西接川南山地、东及东南跨川中丘陵,其东邻自贡与宜宾市,南靠凉山彝族自治州,西连雅安市,北接眉山市,市域地理座标在东经102。50'—104。14',北纬28。25'—29。23'之间,行政区面积12827.5km2。

乐山高新技术产业开发区位于乐山市市中区南部,大渡河南岸,岷江西岸。规划的开发区东到大佛保护区,隔岷江与大佛遥遥相望;距大佛约4km,北临大渡河,通过大渡河桥连接币区,南至乐山森林公园,西到台地边沿。开发区规划面积6.924km2,其中包括车子乡的茶山村、鱼农村、惠安村、白墙村及安谷镇的龙口村、双水村、郑明村、英雄村的部分村社,东西向平均宽3.68km,南北向平均长3.47km。规划的开发区背山面水,东临大佛风景保护区,花团锦簇,微波粼粼,环境优美,是一处投资环境极佳的经济开发区。

本项目位于乐山高新技术产业开发区建业大道以南,乐高大道和茶山路之间,详见图3-1-1。 3.1.2地形地貌

乐山市区域南北长214.42km,东西宽1km;幅员面积为12826 km²。地处四川盆地向西南山地的过渡地带,山地分布在西部和西南部。丘陵主要分布在东北部和东南部,平原集中在沿江两岸。整个地势由西北、西南向东南、东北倾斜,呈西南高、东北低。境内最高处是峨边县的马鞍山主峰,海拔4288m,最低处是犍为县境内的岷江出境处,海拔307m,境内高差悬殊。市域地貌有山地、丘陵、平坝三种类型,以山地为主,其中山地面积8232.38km²;占全市面积的.2%,丘陵面积3879.62km²,占全市面积的30.2%,平坝面积714.008km²,占全市面积的5.6%。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 车子乡地形主要以平坝和浅丘陵为主,平坝占29%,丘陵占39%,另有部分滩涂河流。拟建厂址地处大渡河南岸的浅丘地带,由于车子乡地处大渡河、青衣江、岷江三江汇流处,地质属心冲积土壤,厂址范围内属浅丘台地地形,北高南低,地势较平缓,标高在390~408m,相对高差18m,在鹰嘴村的东西两侧发育有两条近南北走向的充沟,切割深度达15~30m,地形相对较陡;厂区北部因受大渡河冲刷,岸坡地形陡峻,标高362~400m,高差38m。 3.1.3工程地质

乐山市地质构造属中、新生界地质年代;地表层以下为红砂页岩,由粘土与红砂胶结而成。北部平坝上层为第四系全新泛洪冲积层,下层基岩为中生界,白垩系夹关组紫红、砖红色长石石英砂岩、夹粉砂岩及沙质粘土岩,河岸有基岩出露,为中生界白垩系夹关组底层,地质稳定,地质条件好。

厂址区域的岩土工程地质特征:①第四系全新统洪坡残积物,为黄色粘土及卵砾,厚度小于1~2m,该层一般不宜选作持力土层。②第四系上更新统冲洪积物:以黄褐粘土及薄层粘土夹卵砾石层组成,该层厚度达25m以上。粘土呈硬塑状,承载力标准值180~300kPa,该涂成为较好的持力土层,适宜选作天然地基持力层。③白垩系上统夹关组软质岩石:砖黄色细中粒砂岩夹薄层粉砂岩,粘土岩互层,表层承载力标准值为250~350kPa。据地形及岩土性质分析:上部粘土及粘土家卵石土属隔水层,底部岩石属孔隙裂隙弱含水层,单井最大涌水量100~240m³/d,地下水埋深在25m以下,故地下水对建筑物施工及使用均无影响。

乐山市区内最大地震为里氏5.6级,烈度为6度。建筑设防烈度为7度。 3.1.4气候特征

乐山市气候温和湿润,雨量充沛;四季分明,属中亚热带季风湿润气候区;年平均气温17.3℃,极端最高气温38.1℃,极端最低低温-4.3℃,常年最低气温在0℃以上;多年平均气压965.5百帕;全年无霜日达333天;年最大降雨量为1650mm(1975年),年最小降雨量为914.1mm,年均降雨量1120.7mm,最大日降雨量248.2mm;年均蒸发量900mm,最小蒸发量450mm;平均相对湿度81%;全年日照时数为1174.9小时。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 乐山市市中区主导风向为N风,次主导风向为NW风,多年平均风速为1.2m/s,静风频率38%。 3.1.4地表水系

乐山市地表水资源十分丰富,三条主要河流环绕市区,东临岷江,西靠青衣江(雅河),南面有大渡河,乐山市地表水系分布见图3-1-2。

大渡河是岷江的主要支流,发源于牟尼芒山和工来邛崃山脉,从乐山市峨边县西来,在乐山市中心城区南面的肖公咀汇入岷江。大渡河乐山段全长140km,河流落差340m,平均比降为2.43‟,多年平均流量为1438m³/s,最大洪峰流量为10000m³/s,洪峰水位434.6m;最枯流量258.0m³/s,水位426.4m。大渡河厂址河段二十年一遇洪水位高程为367.65~369.30m,五十年一遇洪水位高程为368.25~369.90m,因此厂址区域不会受到洪水的侵袭。

青衣江,又名雅河,也是岷江的主要支流之一,发源于宝兴县巴郎山、夹金山麓,流经乐山市夹江县,在乐山市中心城区西面的水口乡草鞋渡与大渡河汇合后注入岷江。青衣江乐山段全长102km,河流落差165m,平均比降为1.62‟,多年平均流量为573m³/s,最大洪峰流量为18700m³/s,洪峰水位416.3m。最枯流量78.0m³/s,水位407.0m。

岷江发源于青海省和川西北的岷山山脉,经四川省眉山地区青神县入境,由市中区东北面进乐山,在乐山市中心城区肖公咀与大渡河、青衣江汇合。其流域面积广、水量充沛。岷江乐山段全长263km,河流落差137m,平均比降0.58‟,多年平均流量为470~2700m³/s,最大洪峰流量为15100m³/s,洪峰主位429.0m,最枯流量19.00m³/s,水位422.1m。

白滩堰是在大渡河右岸安谷镇境内高山村大漩沱后坝引水,引水量为12.9m3/s,工程灌溉网络及形成干渠29.2km,支渠6条27km,斗渠154km,承担着市中区安谷镇、车子镇、五通桥区冠英镇共4.4万余亩农田灌溉。白滩堰有小型发电站2座,从惠安村渔龙村交界处流出,贯穿乐山高新区,最后流入岷江。区域20年一遇洪水水位高程为367.65~369.30m;50年一遇洪水水位高程为368.25~369.90m。

本项目主要纳污水体是白滩堰和岷江,项目排水经过白滩堰最终汇入岷江。厂址一带地形北高南低,存在自然冲沟,暴雨有汇流出口,故厂址一带不受内涝

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 影响。 3.1.6水文地质

场地内地下水主要赋存于第四系卵石层及下伏基岩裂隙中,卵石层地下水属空隙潜水,基岩裂隙中的水属于基岩裂隙水,水量较丰富,据区域水文地质资料,地下单井出水量约100t/a,勘察期间仅在260#孔地下水稳定水位,水位为5.82m,地下水位年变化幅度随大渡河水位变化而变化,主要接受大气降水和地下水径流补给,排泄以径流排泄为主。

3.2社会环境概况

3.2.1 行政区划与人口

乐山市历史源远流长,在3000年前的巴蜀时期,即是蜀区开明故都,乐山建制已有2500多年,筑城1430年,为历代县、州、府、郡治所。

乐山市自以来,设乐山专员公署,乐山县,1978年乐山县改为地级市,1985年撤地区建市,实行市管县,现辖11个县区,2006年末乐山市总户数112.70万户,户籍人口为350.12万人,在总人口中,非农业人口.03万人,农业人口261.09万人。乐山市市中区下辖4个办事处、26个乡镇,2006年总人口56.9万人。

车子镇属于市中区,地处大渡河南岸,面积19.25km2,与大佛、乌尤隔河相望,是通往五通、沙湾等地的交通要道,目前,车子集镇建成区面积已达 410 亩,集镇人口 3000 多人。 3.2.2 社会经济

2006年乐山市全年GDP366.44亿元,比上年增了14.5%,增速比上年提高1.7个百分点,其中,第一产业增加值63.96亿元,增长2.8%,第二产业增加值200.36亿元,增长20.8%,第三产业增加值102.12亿元,增长11.0%。第一、第二和第三产业增加值占国内生产总值的比重分别为17.5%、54.6%和27.9%。三次产业分别拉动经济增长0.5%、10.8%和3.2%,对经济增长的贡献率分别为3.7—、74.4%和21.9。人均GDP首次突破万元大关,达到10879元。全年民营经济增加值188.36亿元,增长19.0%,民营经济对GDP增长的贡献率为.8%,占

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 GDP的51.4%,民营经济工业增加值105.85亿元,增长26.3%,占工业增加值的57.2%。居民消费价格比上年上涨1.8%,服务项目价格上涨2.1%,消费品价格上涨1.7。 3.2.3 农业概况

乐山市全年粮食种植面积24.38万公顷,全年除大春生产遭受特大旱灾有所减产外,小春粮食、油菜籽、茶叶、畜牧业等均有不同程度的增长。2006年全市粮食总产量102.2万t,比上年减产5.36万t。油菜籽产量4万t,比上年增加0.3万吨。茶叶总产量2.35万吨,比上年增产1500吨;其中名优茶产量4716吨,比上年增加4吨。全年肉类总产量47万吨,增长13.06%。

项目所在地车子镇无公害农产品生产基地建设逐步规范化,已注册了金灯牌枇杷、葡萄,并申报为国家级无公害农产品生产基地,苦瓜、生姜产品送检样本符合无公害农产品生产要求。城郊型农村经济特色突出。枇杷 850 亩、葡萄 1750亩、柑桔380亩、大棚苦瓜350亩、生姜300亩,养鸡16万只,万头三元杂交种猪场1个,年出栏仔猪1.2万头,商品猪生态养殖场1个,年出栏商品猪2万头。

3.2.4 旅游资源

乐山拥有世界级遗产峨眉山--乐山大佛风景名胜区,是世界上第18个,全国第3个,四川省唯一的自然与文化双重遗产。还有国家级风景区2处,国家级文物保护单位4处,省级风景名胜区2个,省级文物保护单位14处,国家级和省级自然保护区各1个,国家级森林公园1处、省级森林公园2处。

拟建厂址周围4km范围内无国家、省级文物保护单位,厂址以东5km是乐山大佛风景区。 3.2.5 交通运输

乐山市交通便利,成昆铁路由北向南穿越市境,经夹江、峨眉、沙湾、峨边、金口河等五个区、市、县,总长154km,设站点19个;公路网由三纵(国道213线、省道103线、省道104线),两横(省道305、省道306)和其他县乡公路组成;市域内有大小通航河流10条,通航里程442.5km,港区面积249万m2,有

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 货运码头6个,泊位11个,客运码头3个,泊位8个,日平均航班300航次以上,300吨货船由乐山港可直达长江沿岸港口,可单件吊重 500吨的乐山大渡河搭建码头已于98年竣工投入使用。规划中的乐雅、乐自高速公路、峨宜、峨自铁路和乐山机场将使未来的乐山交通更为方便。 3.2.6 乐山高新区概况

乐山高新技术产业开发区属省级重点开发区,其前身为1992年设立的乐山经济开发区,位于乐山中心城区南部大渡河南岸,通过大渡河大桥与市区相接,隔岷江与乐山大佛相望,属乐山市中心城区规划范围。

乐山高新技术产业开发区幅员面积6.92km2(纳入土地利用总体规划面积为3.km2),其中包括车子乡的茶山村、鱼农村、惠安村、白埝村及安谷镇的龙口村、双水村、郑明村、英雄村的部份村社。开发区以东边缘距乐山大佛约4km,东南方向与乐山大佛风景区的二级保护区相邻,南与乐山森林公园相距约3km。

乐山高新区从2001年底搬迁到大渡河南岸以来,在、市的正确领导下,结合实际,走改革、发展、创新的路子,坚持高标准制定规划,高质量引进项目,高效率搞好基础设施建设,促进项目建设,以创新促进技术创新,高新区2006年完成固定资产投入14.67亿元,招商引资完成11.8亿元,企业实现销售收入18亿元,出口创汇2149万美元。新的经济增长点基本形成。一批高新技术项目和大项目已相继投产,高新区已初步形成半导体材料、机械电气、新医药等三大支柱产业。目前,高新区高新技术企业已有7家,年销售收入过亿元的高新技术企业达2家,区内企业累计获得专利80多项。

乐山高新区良好的优势、区位优势和软硬环境优势吸引了一批高素质人才、高科技成果和项目在此聚集。投资12.9亿元的1260吨多晶硅项目于2007年2月建成投产。截止2006年底新的区域已成功引进44个项目,投资总额达47.74亿元。

乐山高新技术产业开发区是省级重点开发区,其前身为成立于1992年的乐山经济开发区,1996年经省批准更名为乐山高新技术产业开发区(以下简称乐山高新区)。2004年4月,省将乐山高新区作为符合设立条件、建设成效显著、发展前景好的全省47个开发区之一予以保留。2006年1月26日,乐山高新区通过了国土资源部审核批准并以国土资源部2006年第16号公告予以

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 公布,批准规划面积406公顷。 3.2.7 乐山大佛风景区概况

乐山大佛是峨眉山——乐山大佛国家重点风景名胜区的一个相对风景区,具有世界自然和文化遗产价值和地位,它以“天下第一大佛”为标志,以“壮、雅、清、逸”为特色,是具有观光、朝圣、文化、休闲等功能的文化型风景区。

风景区以人文景观为主,自然景观为辅,自古被誉为“天下山水之观在蜀,蜀之胜在嘉州,嘉州之胜在凌云„„”。其景观人文与自然结合,互为映衬,具有极高的文化价值,其特征可概括“壮、雅、清、逸”。它具有景观的独特性和唯一性,是我国佛教文化和自然山水的完美结合,是罕见的自然和文化遗产,堪称世界奇迹。风景区共有景点44个,其中特级 10个,占23%;一级21个,占48%;二级13个,占29%。

根据《关于乐山大佛风景名胜区总体规划的函》(建城函[2006]344号),将乐山大佛风景名胜区分为以下功能区:

(1)核心区:即世界遗产保护区,面积2.81km2,包括乐山大佛、凌云寺、麻浩崖墓、乌尤寺、离堆、两江汇流、凤洲岛东部等区域。本区为一级保护区,必须按世界遗产公约要求严格保护,区内现有与遗产保护、展示无关的设施、单位必须搬迁出去。

(2)保护区:面积4.38km2(不含核心区),包括龟城山片区南部、凤洲片区中部、杜家坝片区东部、马鞍山片区西北部,本区为二级保护区,必须加强保护,可布置按规划确定的小型旅游服务设施,其它区内现有与风景资源保护、管理、展示无关的设施、单位必须逐步搬迁出去。

(3)控制区:面积10.69km2(不含保护区与核心区),包括马鞍山片区大部、杜家坝片区西部与南部、凤洲片区西部,龟城山片区北部与东部。本区为三级保护区,可在保护风景资源和风景区环境的前提下,进行适当的旅游活动,布置相应的旅游服务和管理设施。

(4)外围协调区:本区不属于风景区范围,而是为保证风景区有一个良好的过渡环境,对风景区周边的城市进行景观风貌要求的区域,包括嘉州古城区、乐山旧城区、肖坝小区、高新技术开发区等,要求这些片区在建筑、色彩、环境等城市景观塑造上与乐山大佛风景区协调。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 乐山大佛风景名胜区功能分区见图3-2-1,本项目位于乐山高新技术开发区内,不属于乐山大佛风景名胜区保护范围,符合乐山大佛风景名胜区总体规划的要求。

3.3区域污染源调查与评价

乐山市纳入环境统计的较大污染源企业有400家,工业总产值为1363591.2万元,有锅炉214台(1184蒸吨),炉窑729座,耗煤440.66万t/a(其中原料煤耗量151.88万t/a),燃料油0.04万t/a,天然气49014万m3,排放工业废气5087588万m3/a,二氧化硫82735.37t/a,烟尘159617.38t/a,粉尘97831.24t/a。

乐山市工业污染源废水排放量为:9117.033万t/a,COD排放量为:75877.127 t/a,氨氮排放量为:1047.1 t/a。

3.4环境质量现状

3.4.1环境空气质量现状

本次评价委托乐山市环境监测站对评价区环境空气质量现状进行了监测,同时收集了乐山市的环境空气例行监测点位的监测资料,对现状监测和收集到的资料进行数理统计,分析区域内环境空气质量现状。 3.4.1.1例行资料调查与评价

(1)监测时间

本次评价收集2004~2006年乐山市例行环境空气质量监测点的监测资料。 (2)监测频率

分别收集日平均和年平均监测数据。 (3)监测点位

乐山市环境空气例行监测点位为:乐山大佛景区、牛耳桥、市第三水泥厂、市环境监测站,其中乐山大佛景区为对照点,不参加全市平均。

(4)监测因子

SO2、NO2和PM10共计3项。 (5)监测结果及评价

2006年乐山市环境空气日均值监测结果统计见表3-4-1,年均值见表3-4-2。

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表3-4-1 乐山市2006年环境空气日均值监测结果 mg/m

项目 日均值浓度 乐山大佛景区 范围 标准值 超标率(%) 日均值浓度 牛耳桥 2006 市第三水泥厂 范围 标准值 超标率(%) 日均值浓度 范围 标准值 超标率(%) 日均值浓度 市环境监测站 范围 标准值 超标率(%) SO2 0.002~0.048 0.05 0.0 0.003~0.090 0.15 0.0 0.002~0.067 0.15 0.0 0.002~0.059 0.15 0.0 NO2 0.005~0.072 0.08 0.0 0.018~0.049 0.12 0.0 0.005~0.042 0.12 0.0 0.006~0.046 0.12 0.0 PM10 0.047~0.119 0.05 94.9 0.100~0.156 0.15 3.20 0.0~0.136 0.15 0.0 0.034~0.203 0.15 1.3 3

3

表3-4-2 乐山市2004~2006年环境空气年均浓度监测结果 mg/m

项目 SO2 标准值 超标倍数 NO2 标准值 超标倍数 PM10 标准值 超标倍数 2004 0.021 0.06 0.0 0.026 0.08 0.0 0.113 0.10 0.13 2005 0.018 0.06 0.0 0.028 0.08 0.0 0.110 0.10 0.10 2006 0.022 0.06 0.0 0.028 0.08 0.0 0.113 0.10 0.13 由表3-4-1可以看出:乐山市4个例行监测点2006年SO2和NO2日均值浓度满足相应的《环境空气质量标准》(GB3095-1996)一级、二级标准要求。PM10除市第三水泥厂外,其余各监测点均有超标情况出现,其中乐山大佛景区超标率94.9%,不能满足《环境空气质量标准》(GB3095-1996)一级标准要求,牛耳桥和市环境监测站超标率分别为3.20%和1.3%,不能满足《环境空气质量标准》(GB3095-1996)二级标准要求。

由表3-4-2可以看出:乐山市2004~2006近三年年平均浓度满足《环境空气质量标准》(GB3095-1996)二级标准要求(乐山大佛景区为对照点,不参加全市平均),PM10近三年均有超标情况出现,不能满足《环境空气质量标准》

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 (GB3095-1996)二级标准要求。

从例行监测结果来看,乐山市首要污染物是PM10,SO2和NO2满足环境空气质量标准》(GB3095-1996)要求。 3.4.1.2本次现状监测结果与评价

(1)监测点布设

根据厂址所在区域常年主导风向及功能分区,周围环境敏感点分布情况,以及现有资料收集情况,在评价范围内布设8个环境空气质量现状监测点,各监测点见表3-4-3。

表3-4-3 环境空气质量现状监测点

序号 K1 K2 K3 K4 K5▲ K6 K7 K8 监测点 拟建厂址 张家坝 乐山市技工学校 肖公咀(市区) 乐山大佛 车子乡杜家场(大佛山风景区边缘) 车子乡 邢家湾 SSE SE 2000 4000 SO2、NO2 、TSP、PM10、HCL、氟化物 SO2、NO2 、TSP、PM10、HCL、氟化物 相对厂区 方位 / SW N ENE E SE 距厂区距离(m) / 3800 2000 5500 5000 2000 监测因子 SO2、NO2 、TSP、PM10、HCL、氟化物 SO2、NO2 、TSP、PM10、HCL、氟化物 SO2、NO2 、TSP、PM10、HCL、氟化物 SO2、NO2 、TSP、PM10、HCL、氟化物 SO2、NO2 、TSP、PM10、HCL、氟化物 SO2、NO2 、TSP、PM10、HCL、氟化物 注:▲K5执行《环境空气质量标准》(GB3095-1996)一级标准。

(2)监测因子

根据本项目污染源特点确定以下监测因子: 常规监测因子:SO2、NO2 、TSP、PM10; 特征因子:HCL、氟化物。

并要求同步监测气温、气压、风向、风速、总云、低云等气象要素。 (3)监测时间及频率

监测时间是2007年07月25日至2007年07月29日,连续监测5天有效数据。氟化物、TSP和 PM10日均浓度每天连续监测不少于12h。SO2、NO2、HCL、氟化物小时浓度每天监测4次,每次采样时间不少于45min,SO2、NO2日均浓度连续采样时间不少于18h。

(4)监测单位 乐山市环境监测站

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 (5)监测分析方法 监测分析方法见表3-4-4。

表3-4-4 监测项目和分析方法

监测项目 SO2 NO2 TSP PM10 分析方法名称 甲醛缓冲溶液吸收-盐酸副玫瑰分光光度法 盐酸奈乙二胺分光光度法法 重量法 重量法 分析方法来源 GB/T15262-96 GB/T15436-1995 GB/T15432-1995 GB/T14623-1993 使用仪器名称及型号 723型分光光度计 723型分光光度计 AG204电子天平 AG204电子天平 监测时采样环境、采样高度的要求按《环境监测技术规范》(大气部分)和《环境空气质量标准》(GB3095-1996)要求执行。

(7)监测结果

监测期间气象条件见表3-4-5。

表3-4-5 现状监测期间气象条件

日期 时间 07:00~08:00 7月25日 11:30~12:30 14:30~15:30 18:00~19:00 07:00~08:00 7月26日 11:30~12:30 14:30~15:30 18:00~19:00 07:00~08:00 7月27日 11:30~12:30 14:30~15:30 18:00~19:00 07:00~08:00 7月28日 11:30~12:30 14:30~15:30 18:00~19:00 07:00~08:00 7月29日 11:30~12:30 14:30~15:30 18:00~19:00 气温(℃) 28.0 30.0 31.0 30.0 26.0 29.5 31.0 30.0 29.5 29.2 30.0 29.5 29.0 30.0 31.0 29.5 28.5 29.5 30.0 28.5 气压(hPa) 961.0 961.0 960.0 959.0 959.0 960.0 959.0 958.0 958.0 958.0 957.0 957.0 958.0 959.0 960.0 958.0 958.0 959.0 959.0 958.0 风向 S S SW SW SW E SE N SE NE NE W S SW C E SW E SW N 风速(m/s) 1.2 1.0 2.1 2.2 0.6 0.8 0.7 1.6 1.0 1.8 1.2 1.6 0.8 1.0 0.0 1.2 1.0 1.2 0.8 1.0 总云 9 8 4 3 0 1 2 0 10 10 10 10 10 10 8 10 0 2 3 0 低云 1 0 3 2 0 1 2 0 10 10 10 10 7 4 5 2 0 2 3 0 (8)评价结论

本评价8个监测点位SO2、NO2、氟化物无论是小时值还是日均值,均满足《环境空气质量标准》(GB3095-1996)二级标准要求,其中乐山大佛满足一级标准要求;氟化物、TSP和 PM10日均浓度均满足《环境空气质量标准》(GB3095-1996)

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 二级标准要求,其中乐山大佛满足一级标准要求;HCL满足《工业企业设计卫生标准》(TJ36-79)中关于“居住区大气中有害物质的最高容许浓度”要求。 3.4.2地表水环境质量现状

(1)监测断面布设

本次评价共设7个地表水监测断面,对开发区污水受纳水体白滩堰和岷江开发区段上下游进行水环境质量现状监测,监测断面分布情况见表3-4-6。

表3-4-6 地表水监测断面

序号 S1 S2 S3 S4 S5 S6 S7 监测断面 蟒落村 乌水庄 陈家村 竹林庙 车子镇 易乐村 金灯村 距厂区距离(m) 白滩堰与岷江交汇口上游100 白滩堰与岷江交汇口下游500 白滩堰与岷江交汇口下游1500 白滩堰与岷江交汇口下游4000 开发区排水口入白滩堰上游100 开发区排水口入白滩堰下游200 白滩堰下游入岷江前50 (2)监测项目

pH、水温、溶解氧、高锰酸钾指数、生化需氧量、化学需氧量、氨氮、石油类、挥发酚、氟化物、总磷、盐、亚盐、硫酸盐、总锰、总铜、总锌、总砷、总汞、总镉、六价铬、总铅,共计23项,同步观测岷江流量、流速、河宽、河深等水文资料。

(3) 监测时间及频率

2007年07月23日~24日,连续采样2天,每天采样2次。

监测分析方法按照GB3838-2002《地表水环境质量标准》中分析方法进行。 (4)监测单位 乐山市环境监测站 (5)监测分析方法

监测技术方法及具体执行标准见表3-4-7。

表3-4-7 水质监测分析方法一览表

监测项目 悬浮物 石油分析方法 重量法 非分散红外标准 GB11901 - GB/T188-1996 检出限 / 0.2 监测项目 pH 六价分析方法 玻璃电极法 二苯碳酰二肼标准 GB6920-86 GB7467-87 检出限 / 0.004 国家环境保护总局环境发展中心

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 类 氟化物 挥发酚 分光光度法 氟试剂分光光度法 4-氨基安替比林分光光度法 纳氏试剂比色法 稀释与接种法 N-(1-萘基)-乙二胺光度法 温度计法 原子吸收分光光度法 浮标法 GB13195 -91 GB7475-87 / 硫化物 As 总硬度 GB7493-87 0.003 Cd 化学GB7479-87 0.025 需氧量 GB7488-87 2 盐氮 酚二磺酸分光光度法 原子吸收分光光度法 亚甲基蓝分光光度法 二乙基二硫代0.0005 氨基甲酸银分光光度法 / / EDTA滴定法 GB7477-87 0.05 GB7485-87 0.007 GB7480-87 0.02 重铬酸钾法 GB11914- 5 GB7490-87 0.002 Cu GB74-87 0.05 铬 溶解性总固体 原子吸收分光光度法 GB7475-87 0.00005 重量法 GB11901- / 分光光度法 氨氮 生化需氧量 亚盐氮 水温 GB7475-87 0.00005 GB/T1-1996 0.005 Pb 流量

(6)评价方法

采用单因子标准指数法,对评价范围内地表水环境质量现状进行评价。 单项水质参数i在第j点的标准指数为:

Ci,jSi,jCsi pH的标准指数为:

SpH,jSpH,j7.0pHj7.0pHsdpHj7.0pHsu7.0pHj7.0pHj7.0

DO的标准指数为:

SDO,jSDO,jDOfDOjDOjDOsDOjDOs

DOfDOsDOj109DOs式中:Si,j  单项水质参数i在第j点的标准指数;

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 Ci,j  污染物i在第j点的监测浓度,mg/L; Csi  单项水质参数i的地表水质标准,mg/L; SpH,j  pH在第j点的标准指数; pHj  pH在第j点的监测值;

pHsd  地表水水质标准中规定的pH值下限; pHsu  地表水水质标准中规定的pH值上限; SDO,j  DO在第j点的标准指数; DOf  饱和溶解氧浓度,mg/L; DOj  DO在第j点的监测浓度,mg/L; DOs  溶解氧的地表水质标准,mg/L。 pHsu  地表水水质标准中规定的pH值上限。

如水质参数的标准指数1,表明该水质参数超过了规定的水质标准。水质参数的标准指数越大,说明该水质参数越差。

(7)监测及评价结果

从监测结果来看,本次评价地表水各监测断面及监测因子均满足《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)Ⅲ类标准要求。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 3.4.3地下水质量现状

(1)监测点的布设

在厂址所在区域设4个地下水监测点,监测点位置见表3-4-8。

表3-4-8 地下水监测点分布表

编号 X1 X2 X3 X4 监测点名称 高山庙 茶山村 龚家湾 铜陈子 距厂址距离(m) 1000 500 1000 800 与厂址相对方位 E S S NW (2)监测因子

地下水监测因子选取pH、高锰酸钾指数、溶解性总固体、总硬度、氟化物、氨氮、NO2-N、NO3-N、硫化物、挥发酚、氰化物等共计11项,同步监测井深、取水层、地下水用途。

(3)监测时间及频次

2007年7月23日~24日,连续监测2天,每天采样1次 (4)监测单位 乐山市环境监测站

(5)地下水环境质量现状评价

从监测结果来看,本次评价地下水各监测点位及监测因子均满足《地下水质量标准》GB/T 14848-93中的Ⅲ类标准要求。 3.4.4声环境质量现状

(1)监测点布设

本次评价在现有厂界四周共布设8个噪声监测点(每边厂界各设2个监测点)。

(2)监测因子

监测因子为等效连续A声级。 (3)监测频率

7月26日昼夜各监测一次。 (4)监测方法

按《环境监测技术规范》规定,取累积百分声级L10、L50、L90标准差σ

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 及等效声级Leq(A)作为噪声测量结果的特征表示值并与评价标准比较,对评价范围内噪声环境质量现状作出评价。

(5)监测单位 乐山市环境监测站 (6)噪声现状监测结果

环境及厂界噪声监测结果见表3-4-9。

表3-4-9 厂界及环境噪声监测统计分析结果 [dB(A)]

测点类型 测点位置 1# 2# 3# 监测时间 厂区 噪声 4# 5# 6# 7# 8# 标准值 监测时段 昼间 58.6 58.7 57.2 53.0 54.7 51.3 54.3 57.2 65 夜间 46.3 51.2 50.3 46.2 46.7 42.7 46.5 46.3 55 昼间 达标 达标 达标 达标 达标 达标 达标 达标 — 达标情况 夜间 达标 达标 超标 达标 达标 达标 达标 达标 — (5)监测结果分析

从监测结果来看,厂界各监测点位噪声昼夜间均满足《城市区域环境噪声标准》(GB3096-93)3类标准。 3.4.5生态环境现状

生态环境评价范围内以人类活动为中心,以工业和农业生产为基础的人工生态系统,没有大面积的自然植被及大型野生动物群,现有动物主要为当地常见物种,生物多样性单一。生态系统具有相对的稳定性和功能完整性,具有一定的抗干扰能力。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 4.环境影响预测与评价

4.1环境空气影响预测与评价

4.1.1气象资料统计分析 4.1.1.1资料来源

拟建项目采用的气象资料来自乐山市气象站。乐山气象站地处N29°34†、E103°45†,位于四川省乐山市境内。

乐山气象站与本项目直线距离约3.9km,区域地势有小范围的台地,大范围相对平坦开阔,与拟建厂址地区气象要素基本相同,两地受同一气候系统的影响和控制,其常规气象资料可以反映拟建项目区域的基本气候特征,因而本次评价可利用乐山市气象站提供的地面气象资料。 4.1.1.2基本气象情况分析

拟建项目所在地的气象资料直接引用乐山市2004-2006年3年的常规气象要素观测资料,其观测仪器和方法均按国家有关规定进行。

为了全面了解拟建项目所在区域气象条件,根据乐山气象站2004-2006年3年地面气象观测资料统计,该地区常规气象要素月平均状况见表4-1-1。

表4-1-1 近30年乐山市常规气象要素月均及年均值

要素 月份 1月 2月 3月 4月 5月 6月 7月 8月 9月 10月 11月 12月 年平均 平均气压 (hPa) 平均气温 (℃) 降雨量 (mm) 相对湿度 (%) 973.1 970.5 967.1 963.6 960.9 957.1 954.8 957.3 9.0 969.7 972.8 974.6 965.5 7.1 8.8 12.9 18.0 21.8 24.1 25.9 25.8 21.9 17.8 13.5 8.7 17.2 16.8 23.3 41.1 80.9 98.4 154.5 276.4 298.6 162.9 65.5 34.1 17.7 12.2 82 80 77 75 74 80 83 82 84 84 82 83 81 由上表中可以看出本项目所在区域基本气象参数如下: (1)气压年平均为965.5hpa,12月份最高,为974.6hpa,6、7月份相对较低;

(2)气温年均17.2℃,12月份最冷,月平均8.7℃,7、8月份较热,月平

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 均分别为25.9℃、25.8℃

(3)降雨量年均为12.2mm,降雨主要集中在6、7、8、9月份,共计约2.4mm;

(4)相对湿度年均为81%,各月份平均湿度差距不大。 4.1.1.3气象数据分析

利用乐山市气象站2004-2006年3年的地面观测资料,对污染气象数据进行分析统计如下。

(1)风频

①该地区静风C出现频率最高,春夏秋冬四季出现频率分别达到41.11%、51.08%、63.71%和61.02%,全年出现频率达到54.34%;

②除静风C外的16个风向中,四季及全年都以北风出现频率最高,都在5%以上,全年达到6.%。西北风、北东北风及东南风、南风出现频率次之;

③拟建厂址位于乐山大佛以西,乐山市区中心以南偏西,关心风向西风和西南风出现频率四季及全年分别低于2.3%和2.7%,表明拟建工程排放的废气对乐山大佛及乐山市区影响几率极低。

(2)风速

①拟建厂址地区平均风速较小,只有春季平均风速达到1.0m/s,其他季节都低于1.0m/s,全年平均风速仅为0.7m/s;

②四季各风向平均风速介于1.0-2.0m/s之间,全年各风向平均风速1.3-1.9m/s,普遍较小,且相差不明显。

(3)大气稳定度

①该地区大气稳定度以中性(D类)为主,全年出现频率为39.97%; ②稳定类(E、F)次之,全年出现频率为36.78%,不稳定类(A、B和C)最少,全年出现频率为23.25%。

(4)小结

综合以上分析,拟建厂址地区大气呈现中性偏稳定状态,静风出现频率较高,风速较小,总体上不利于大气污染物向外输送、扩散和稀释。拟建工程排放的废气对距离较远且处于最低风频下风向的乐山大佛及乐山市中心区影响几率较小,仅可能对厂址以南距离较近的农村地区及与大渡河一江之隔的乐山市技工学校

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 附近地区有影响。从污染气象分析的角度来看,拟建厂址的选择是较为合理的。 4.1.1.4低空污染气象分析

本次低空污染气象及大气扩散试验数据选用《年产1000吨多晶硅高新技术产业化示范工程项目》(补充材料.四川新光硅业科技有限责任公司.2000),此数据源于距离本项目3.5km(西北方向)某项目的实验报告。

评价区域低空探测期间评价区大气稳定度和静风频率统计见表4-1-2。

表4-1-2 评价区大气稳定度和静风频率统计表 稳定度 频率(%) 稳定度频率 静风频率 A 3.3 不稳定 B 21.1 25.4 2.5 C 1.0 中性 D 41.5 41.5 16.7 稳定 E 25.3 33.1 16.7 F 7.8 4.1.2本项目大气污染源统计分析 本项目正常工况条件下有组织大气污染源统计情况见表4-1-3。

表4-1-3 本项目正常工况条件下有组织大气污染源统计表 装置名称 序 号 1 2 3 来源 排放量 3(Nm/h) 37500 100 5000 污染物排放量 HF:0.05kg/h NOx:0.037kg/h HCl:1.63×10kg/h N2、SiH2Cl2等 硅粉:1.62×10kg/h -4-4排放温度(℃) 常温 常温 常温 排放高度(m) 15 15 15 多 晶 硅 酸废气净化塔 尾气淋洗塔 硅粉装卸站 4.1.3大气环境影响预测 4.1.3.1预测因子

本次大气环境影响预测的因子:硅粉(Si)、HCl、氟化物和NO2等四种污染物。

4.1.3.2预测内容

(1)利用乐山气象站2004-2005年3年的常规气象资料统计结果,对本项目正常工况下大气污染物进行日均值贡献值预测,以各敏感点为基准选取典型日;

(2)利用乐山气象站2004-2005年3年的常规气象资料统计结果,对本项目正常工况下大气污染物进行小时浓度贡献值预测,以常年统计主导风向为基础,选取静风、小风、有风模式分别预测下风向最大落地浓度及落地距离。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 4.1.3.3预测模式

根据《环境影响评价技术导则 大气环境》(HJ/T2.2-93)要求,本次评价拟采用以下模式预测各种气象条件下污染物地面浓度。

(1)有风(U10>1.5m/s)时污染物1小时落地浓度预测模式为:

k(2nhHe)2(2nhHe)2QY2C(X,Y)()exp(2)expexp222Uyz2ynk22zz式中:C(X,Y)— 烟囱下风向任意点(X,Y)地面浓度,mg/m3;

Q─ 单位时间排放量,mg/s;

Y─ 该点与通过排气筒的平均风向轴线在水平面上的垂直距离,m;

y─ 垂直于平均风向的水平横向扩散参数,m;

z─ 铅直扩散参数,m;

U─ 排气筒出口处的平均风速,m/s; h─ 混合层高度,m; n─ 反射次数;

He─ 排气筒有效高度,m。

(2)静小风(U10≤1.5m/s)时污染物1小时落地浓度预测模式为:

C(x,y)2Q(2)23/2022G

201XY2He20222

GeU22/20112ses2/2s

sSUX12

set2/2dt

01式中:s — 可根据s 由数学手册查到;

01 — 横向扩散参数的回归系数; 02 — 铅直扩散参数的回归系数。

(3)面源模式

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 地面浓度Cs按点源模式计算,但需对σz、σy进行修正,修正公式为: y1X1ay4.3 z2X2H 2.15(4)日均浓度模式

C(X,Y)=(1/24)∑Ci(X,Y)

(S)s212tedt2SUX01式中各因子量纲和物理意义与(HJ/T2.2-93)相同。 (5)年均浓度模式

C(X)i(CijkfijkCLijkfLijk)jkk

式中:C(X,Y) — 年或季(月)的平均浓度; i — 风向,i=1~16; j — 风速等级; k — 稳定度等级; f ijk — 气象条件为i、j、k的出现频率; Cijk — 气象条件为i、j、k时的1小时浓度。 (6)多源模式

如果需要评价的排放源多于一个,则按多源排放模式计算,评价区任一地面点(X,Y)的浓度Cn(mg/m3)有:

Cn(x,y)Cr(XXr,YYr)

r(7)烟气抬升高度

a. 当QH≥2100KJ/s,且ΔT≥35K时

Hn0QHHn2/Va

QT 0.35PQavHTsn1式中:QH — 烟气热释放率,kJ/s; QV — 实际排烟率,m3/s;

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 Pa — 大气压力,hpa;

n0、n1、n2、—分别为烟气热状况系数,烟气热释放指数,烟囱高度指数。 b. 当QH≤1700kJ/s或ΔT<35K时 ΔH=2×(1.5Vs×D+0.01QH)/ Va 式中:Vs — 排气筒出口处烟速,m/s; Va ― 烟囱出口处环境平均风速,m/s; D — 排气筒出口内径,m。 (8)熏烟模式 采用导则推荐模式:

y2Qcf(x,y)exp222Uhfyfyf(P)

p(x,t)hf(t)Hez(x)

yf(x,y)y(x,y)H/8

(9)扩散参数的选取

采用《环境影响评价技术导则》HJ/T2.2-93中推荐的有关扩散参数。 4.1.3.4预测结果

(1)小时值浓度预测

①一般气象条件小时浓度贡献值预测

本次评价各污染物小时浓度贡献值预测结果见表4-1-4。

表4-1-4 各污染物小时浓度贡献值预测结果 污染物 风速(m/s) 0.5 稳定度 B D E B D E B D E B D E B D 最大浓度3(mg/m) 2.75E-05 2.57E-05 2.E-06 1.34E-05 1.25E-05 6.76E-06 8.18E-06 7.68E-06 4.35E-06 3.25E-04 2.84E-04 1.10E-04 1.69E-04 1.32E-04 距离(m) 41 153 393 475 1140 948 321 724 846 11 37 161 104 200 占标一级标准的百分比(%) 1.37E-01 1.28E-01 1.45E-02 6.69E-02 6.26E-02 3.38E-02 4.09E-02 3.84E-02 2.17E-02 6.50E-01 5.68E-01 2.20E-01 3.38E-01 2.E-01 占标二级标准的百分比(%) 1.37E-01 1.28E-01 1.45E-02 6.69E-02 6.26E-02 3.38E-02 4.09E-02 3.84E-02 2.17E-02 6.50E-01 5.68E-01 2.20E-01 3.38E-01 2.E-01 氟化物 1.5 2.5 0.5 HCl 1.5 国家环境保护总局环境发展中心

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 E B D E B D E B D E B D E B D E B D E B D E 4.17E-04 2.09E-04 1.72E-04 3.06E-04 1.34E-05 1.27E-05 1.08E-06 6.60E-06 5.95E-06 3.67E-06 5.17E-06 4.74E-06 2.53E-06 2.75E-05 2.57E-05 2.E-06 1.34E-05 1.25E-05 6.76E-06 8.18E-06 7.68E-06 4.35E-06 443 104 193 423 41 153 393 475 1140 948 321 724 846 11 53 265 149 302 628 129 257 577 8.34E-01 4.18E-01 3.44E-01 6.12E-01 1.12E-02 1.06E-02 9.00E-04 5.50E-03 4.96E-03 3.06E-03 4.31E-03 3.95E-03 2.11E-03 - - - - - - - - - 8.34E-01 4.18E-01 3.44E-01 6.12E-01 1.68E-02 1.59E-02 1.35E-03 8.25E-03 7.44E-03 4.59E-03 6.46E-03 5.93E-03 3.16E-03 - - - - - - - - - 2.5 0.5 NO2 1.5 2.5 0.5 硅粉(TSP) 1.5 2.5 由表4-1-4可见,本项目建成后氟化物最大落地浓度为2.75×10-5mg/m3,落地距离为41m,占标指数为0.137%,出现在静小风B类稳定度条件下;HCl最大落地浓度为4.17×10-4mg/m3,落地距离为443m,占标指数为0.834%,其出现在小风E类稳定度条件下;NO2最大落地浓度为1.34×10-5mg/m3,落地距离为41m,占一、二级标准指数分别为0.0112%、0.0168%;硅粉最大落地浓度为2.75×10-5mg/m3,落地距离为11m。由此可见,本项目建成后排放的大气污染物对外环境空气影响很小。

②乐山大佛保护区小时浓度贡献值预测

为确定本项目建成后对乐山大佛自然保护区的环境空气质量影响情况,特拟定气象条件预测本项目大气污染物对大佛自然保护区的小时浓度贡献情况,见表4-1-5。

表4-1-5 大佛自然保护区小时浓度贡献值预测 关心点 乐山大佛 污染物种类 氟化物 HCl NO2 硅粉(TSP) 气象条件 D、1.5m/s 最大浓度(mg/m) <0.00001 <0.00001 <0.00001 <0.00001 3占标标准的百分比(%) <0.05 <0.02 <0.0083 - 其中氟化物和NO2小时浓度贡献值等值线图见图4-1-1、4-1-2。由上表可见, 项目大气污染物对乐山大佛的影响很小。

(2)日均值浓度预测

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 ①氟化物

本项目氟化物日均浓度预测结果见表4-1-6。

表4-1-6 氟化物日均浓度预测结果 典型日1 典型日2 典型日3 0.0001 0.0000 0.0001 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0001 0.0000 0.0001 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 30.007mg/m 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 标准 关心点 乐山市区 张家坝 技工学校 肖公咀 乐山大佛 拟建厂址 车子乡 杜家场 刑家湾 典型日4 0.0001 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0001 0.0000 0.0000 0.0000 ②NO2

本项目NO2日均浓度预测结果见表4-1-7。

序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 标准 关心点 乐山市区 张家坝 技工学校 肖公咀 乐山大佛 拟建厂址 车子乡 杜家场 刑家湾 表4-1-7 NO2日均浓度预测结果 典型日1 典型日2 典型日3 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 33乐山大佛:0.08mg/m;其余:0.012mg/m 典型日4 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 ③HCl

本项目HCl日均浓度预测结果见表4-1-8。

表4-1-8 NO2日均浓度预测结果 典型日1 典型日2 典型日3 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 30.015mg/m 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 标准 关心点 乐山市区 张家坝 技工学校 肖公咀 乐山大佛 拟建厂址 车子乡 杜家场 刑家湾 典型日4 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 国家环境保护总局环境发展中心

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 ④硅粉(TSP)

本项目硅粉(TSP)日均浓度预测结果见表4-1-9。

表4-1-9 NO2日均浓度预测结果 典型日1 典型日2 典型日3 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 33乐山大佛:0.12mg/m;其余:0.30mg/m 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 标准 关心点 乐山市区 张家坝 技工学校 肖公咀 乐山大佛 拟建厂址 车子乡 杜家场 刑家湾 典型日4 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 由上述表格可见,本项目建成后排放的大气污染物对各关心点的日均浓度贡献很小,无明显增加。

(3)小结

通过上述预测结果表明,本项目建成后在静小风、小风和有风条件下,项目排放的大气污染物的小时浓度贡献值、日均浓度贡献均很小,对外环境空气质量影响不明显。

4.2地表水环境预测与评价

4.2.1污染源参数

本项目建成前后废水排放情况见表4-2-1。

表4-2-1 废水排放一览表

装置 序名称 号 废水 名称 排放量 (t/h) 污染物组成 (wt) 排放特性 温度 压力 (℃) (Pa) 规律 排放方式 及去向 经厂污水处1 多晶硅 2 产品后处理和 硅芯制备工序 水洗废水 10(平均) 22(最大) HF和HNO3 常温 常压 间断 理站处理达标后至厂总排口 工艺废料处理工序蒸发冷凝(Ⅰ类废液) 设备、地坪冲洗、 分析化验 液 1 常温 常压 连续 回用,不外排 经厂污水处装置区 3 废水 6 COD、pH<7 常温 常压 间断 理站处理达标后至厂总排口 排放源 国家环境保护总局环境发展中心

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 直接排至厂常温 常压 连续 区净下水管网 直接排至厂常温 常压 连续 区净下水管网 经厂污水处常温 常压 间断 理站处理达标后至厂总排口 4 循环水系统 排水 100 COD 60mg/L SS 40mg/L COD 60mg/L 5 脱盐水/高纯水站 中和池 排水 28 SS 40mg/L pH 6-9 COD 400mg/L BOD5 100mg/L SS 250mg/L NH3-N 35mg/L pH 6~9 COD ≤100mg/L 公用工程及辅6 助设施 厂内生活设施 生活污水 5 7 污水处理站 排水 21 (平均) BOD5≤20mg/L SS ≤70mg/L NH3-N≤15mg/L 氟化物≤10mg/L 常温 常压 连续 达标排放 本项目外排废水量149t/h(平均) 总 量 其中:污水21t/h送厂污水处理站处理达标后至厂总排口;假定清净下水128 t/h直接排放 4.2.2河流参数

岷江发源于青海省和川西北的岷山山脉,经四川省眉山地区青神县入境,由市中区东北面进乐山,在乐山市中心城区肖公咀与大渡河、青衣江汇合。其流域面积广、水量充沛。岷江乐山段全长263km,河流落差137m,平均比降0.58‟,多年平均流量为470~2700m³/s,最大洪峰流量为15100m³/s,洪峰主位429.0m,最枯流量19.00m³/s,水位422.1m。

岷江杜家场段枯水期平均宽度170m,平均水深2.6m,流量260m/s(水量保证率在95%以上) 4.2.3地表水影响预测模式

采用完全混合模式进行水环境影响预测。

C完全混合模式:

CPQPCEQEQPQE

式中:C——完全混合的水质浓度,mg/l; QP——河水水量,m3/s; CP——河水水质浓度,mg/l; QE——污水流量,m3/s; CE——污水水质浓度,mg/l。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 4.2.4预测结果及分析

预测结果见表4-2-2。本项目实施后,对岷江的水质影响不大,CODCr的贡献值0.002 mg/L,氟化物的贡献值0.00022 mg/L,叠加现状之后,满足《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)Ⅲ类标准要求。

表4-2-2 地表水影响预测结果

项目 S6易乐村现状值 岷江 项目建成后 S7金灯村现状值 项目建成后 水质(mg/L) CODCr 17.5 17.502 11.3 11.302 氟化物 0.135 0.13522 0.133 0.13322

4.3声环境预测与评价

4.3.1评价目的

在调查厂界及周围噪声现状、拟建项目主要噪声源的基础上,预测项目生产运营时噪声对周围环境的影响,并针对噪声影响提出相应的防护措施。 4.3.2噪声源强

本项目主要噪声污染源来自烧结、炼铁等工艺,主要噪声源布置在生产厂房内,噪声设备的位置、数量、源强等参见表4-3-1。

表4-3-1 噪声产生状况

装置 名称 序号 1 公用工程 噪声源名称 声源强度dB(A) 100 工作特性 消声措施 消声后声压级 dB(A) <85 空气分离装置 连续 消声器及隔音操作室 2 冷冻机 100 间断 消声器及隔音操作室 <85 3 空压机 100 连续 消声器及隔音操作室 <85 4.3.3预测方案

预测拟建项目对厂界噪声影响贡献值,包括昼间和夜间厂界噪声影响值预测

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 及评价。

本次噪声预测中,选用宁波环科院按照《环境影响评价技术导则—声环境》(HJ/T 2.4-1995)开发的噪声预测软件,该软件可计算多个噪声源对预测区域的影响。

该噪声预测分析软件在使用时根据需要确定一个空间直角坐标系,并输入在该坐标系中的各噪声源的坐标、各噪声声功率级(有条件时还应输入噪声源的频谱),测算点的间隔等,全部预测分析在立体空间进行。该软件的不足之处是,不能考虑遮挡物的影响,也不能考虑室内声源。根据项申请报告,本工程的许多设备,如冷冻机、空压机等均布置在主厂房或专门设置的车间内,这些厂房和车间必然使上述设备的噪声产生衰减。为此,我们在预测计算中首先赋予厂房、车间一定的隔声量,然后据此将室内源转化为室外源。根据监测资料,车间及围墙的隔声量一般可达到10-20dB(A),在预测中将室内源转化为室外源,隔声量取15-20dB dB(A)。另外在模式计算中,为保守起见只考虑了空气衰减和地面作用下的衰减。 4.3.4预测模式

4.3.4.1噪声随距离衰减模式

采用预测模式为点声源几何发散衰减模式:

LA(r)LAr020lgr/r0

式中:LA(r)—距点声源r处的A声级(dB); r0, r —参考位置距点声源的距离(m); LA —参考位置噪声源声功率级(dB)。

4.3.4.2多声源叠加模式

L010lg(10i1nLi10)

式中: L0 —叠加后总声压级,dB(A);

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 n —声源级数;

Li —各声源对某点的声压级,dB(A)。 4.3.5预测结果分析

经计算,本项目各种产噪设备对厂界噪声影响贡献情况见表4-3-2。从预测结果来看,本项目昼夜间均满足《工业企业厂界噪声标准》(GB 12348-90)Ⅲ类标准要求。

表4-3-2 厂界及环境噪声预测结果 [dB(A)]

测点类型 测点位置 1# 2# 3# 监测时间 厂区 噪声 4# 5# 6# 7# 8# 标准值 昼间 现状值 58.6 58.7 57.2 53.0 54.7 51.3 54.3 57.2 65 预测值 59.2 61.3 58.5 55.2 59.4 54.3 56.4 59.4 现状值 46.3 51.2 50.3 46.2 46.7 42.7 46.5 46.3 55 夜间 预测值 48.5 52.4 55.3 467.1 48.5 44.2 47.8 48.2

4.4固体废物环境影响分析

4.4.1固体废物来源

主要固体废弃物为原料制备和SiHCl3合成工序产生的硅粉、工艺废料处理工序产生的NaCl和SiO2固体废物、酸洗废液处理工序产生的Ca(NO3)2/CaF2固体废物。多晶硅装置固体废物排放状况见表4-4-1。

表4-4-1(a) 固体废物排放状况

装置名称 多 晶 硅 序号 1 2 固废来源及名称 废硅粉 废石渣及污泥 组成及特 性数据 Si 主要成分:CaF2 含水80% 排放 规律 间断 间断 排放量 200t/a 2310t/a 排放方式 及去向 送渣场堆存 压滤后送渣场堆存 表4-4-2(b) 固体废物排放状况

装置 序名称 号 废液 名称 产生量 (t/h) 污染物组成 (wt) 排放特性 温度 压力 (℃) (Pa) 规律 排放方式 及去向 排放源 国家环境保护总局环境发展中心

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 NaOH中和后送工1 提纯工序 精馏残液 466 含氯硅烷 SiO2 12.1% 洗涤液 2.5 NaCl 36.7% H2O 51.2% 酸洗废酸 1270t/a HF 10% HNO3 90% 常温 常压 连续 常温 常压 连续 艺废料处理工序(Ⅰ类废液) 多晶硅 2 废气处理工序 尾气淋洗塔 产品后处理和硅芯制备工序 送工艺废料处理工序(Ⅰ类废液) 石灰乳中和后送常温 常压 间断 工艺废料处理工序(Ⅱ类废液) 3

4.4.1固体废物影响分析

4.4.1.1乐山高新区多晶硅专用渣场概况

乐山高新区多晶硅专用渣场建设在安谷镇双水村征地约45亩(30108.7m2),建一座库容约24万m3渣场,服务期10年,总投资1600万元。

渣场集雨(填埋平面)面积为21700m2,服务期为10年。渣场位于一“U”形冲沟内,渣场北面、东面、南面均为山坡,建设时充分利用地形,在渣场西北面建设一条长约110m的拦渣坝,在拦渣坝外建设相应的污水(渗滤液)处理设施和值班室。

目前乐山高新区多晶硅专用渣场已取得乐山市环保局的批复,预计2008年6月投入使用。

4.4.1.2本项目废渣性质分析

2007年7月,四川省乐山高新技术产业开发区建设局将高新区内新光硅业公司1000t/a多晶硅生产线试生产产生的废渣送至四川省环境监测中心站进行固废浸出毒性检测,四川省环境监测中心站对此出具了环检(2007)第099号《检测报告》,检测结果见表4-4-2。

表4-4-2 多晶硅生产产生的废渣性质表

项目 水分 pH 砷 氟化物 氯化物 检测结果 67.6 8.71 未检出 0.944 9172.8 检出限 / / 0.00032 / / 单位 % / mg/L mg/L mg/L GB5085.3-1996 浸出液最高允许浓度 / ≥12.5或≤2.0 (GB GB5085.1-1996) 1.5 50 / GB78-1996 一级标准 / 6~9 0.5 10 300* 国家环境保护总局环境发展中心

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 氰化物 未检出 0.004 mg/L 1.0 0.5 *氯化物排放暂无国家标准,故按“川环科发[1997]5号”要求执行《四川省水污染物排放标准 (DB51/190-93)》一级排放标准。

从表4-4-2可看出,多晶硅废渣属一般性工业固体废弃物中的第Ⅰ类工业固废,浸出液中任何一种污染物的浓度均未超过(GB78-1996)最高允许排放浓度(氯化物排放暂无国家标准)。

本项目采用生产工艺与1000t/a多晶硅生产线试生产工艺相同,产生的废渣与1000t/a多晶硅项目一致。

4.4.1.3固体废物影响分析

本项目产生的废硅粉、废石渣及污泥送乐山高新区多晶硅专用渣场填埋,废酸液交送有危废处置资质的单位处理,各种固废均不直接排入外环境,不会对环境产生明显的影响。

4.5建设期环境影响分析

施工过程中,有施工噪声、固体废物、扬尘、施工机械废气及废水等产生,同时还会造成一定程度的水土流失和生态影响等污染。

噪声:本项目施工过程中大量使用机械,在本项目的平整场地、基建施工过程中主要噪声源分为流动噪声和固定噪声。流动噪声源包括:流动作业机械、交通运输噪声,载重汽车、推土机等,噪声源强在60~90分贝之间;固定噪声源包括:固定作业机械、辅助设备噪声源,如混凝土搅拌机、钻孔机等,这些声级较高,为75~100分贝。但上述设备使用属间歇性的,施工时间不长,且按规定时间施工,因而对附近人群的影响不大。

扬尘:施工过程扬尘主要来源于汽车的运输过程或灰尘受风吹后扬起的粉尘,或是散落的泥土在行车中扬起的粉尘。由于重力沉降作用,扬尘影响随距离的增加而减少。在干燥、风速大的气象条件下,扬尘污染比较严重,这些扬尘经过大气扩散运输对周围的环境会产生一定影响,增加空气的浑浊度,特别是空气中可吸入颗粒物浓度的增加,将影响路人和施工人员的身体健康。由于施工期较短,且离居民聚居点有一定的距离,扬尘对环境的影响不大。

机械废气:由于施工机械是以柴油机为主,尾气中氮氧化物的浓度较低,碳

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 黑的浓度较高,只要注意施工机械的操作,避免突然加速和超载,减少冒烟情况,对周围环境影响不大。

施工废水:主要来源于清洗设备、材料所产生的污水及开挖基础时的基坑排水等。该项目的施工量不大,施工废水经临时沉淀池处理后再排放,废水对周围环境的影响不大。

施工期固体废物:建筑垃圾(主要含断砖碎瓦、沙石、废木料和钢筋等)的产生量较大,建筑工程全部完工以后,由建设方全部清运走,对环境影响不大。

水土流失及生态影响:本项目占地面积1800m2,项目所在地为山坡,平整场地工程量较大,在施工过程中会有表土裸露,在雨天裸露表土受雨水冲涮会引起水土流失,同时项目的开发会破坏原有的植被和生态系统。项目在施工过程中边施工边绿化,同时拟做好东面低洼地的护坡,减少水土流失的环境影响,项目投入使用后,进一步绿化,做好生态恢复措施,对环境影响不大。

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5.环境风险评价

5.1环境风险评价概述

本项目所涉及的物料大多数具有易燃、易爆和有毒、有害特征,项目工艺过程有多处高温、高压合成反应,有多处发生安全和环境事故的隐患,具有对周围活动人口、环境及社会产生影响和损害的可能。根据国家环境保护总局《关于加强环境影响评价管理防范环境风险的通知》(环发[2005]152号)和环办[2006]4号《关于检查化工石化等新建项目环境风险的精神》,从源头防范环境风险,防止重大环境污染事件对人民群众生命财产安全造成危害和损失,根据《建设项目环境风险评价技术导则》(HJ/T169-2004)要求,加强对本项目的环境风险评价。 5.1.1风险评价等级及评价范围 5.1.1.1环境风险评价等级

由于本项目原料、辅料、产品存储区域属于重大危险源,依据《建设项目环境风险评价技术导则》(表5-1-1),判定本项目风险评价等级为一级。

表5-1-1 评价工作级别(一、二级)

重大危险源 非重大危险源 环境敏感地区 剧毒危险性物质 一 二 一 一般毒性危险物质 二 二 一 可燃、易燃危险性物质 一 二 一 爆炸危险性物质 一 二 一 5.1.1.2环境风险评价范围 依据《建设项目环境风险评价技术导则》要求,本项目风险评价范围为以厂址中心为原点、半径5km的圆形范围。 5.1.2风险评价敏感保护目标

(1)环境空气敏感保护目标

本项目风险评价范围内环境空气敏感保护目标见表5-1-2。

表5-1-2乐山多晶硅项目环境空气敏感点一览

序号 1 2 3 4 5 名称 乐山市区 张家坝 技工学校 肖公咀 乐山大佛 坐标 X(m) 3353 -1982 -251 4359 5078 Y(m) 5672 4295 2703 2362 1093 距离(m) 65 4730 2715 4958 5194 方位 NNE NNW N ENE E 保护类别 满足《环境空气质量标准》 (GB3095-1996)二级标准(乐山大佛满足一级国家环境保护总局环境发展中心

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 6 7 8 9 拟建厂址 车子乡 杜家场 刑家湾 0 2132 3868 1222 0 -833 -901 -3247 0 22 3972 3469 / ESE ESE SSE 标准) (2)水环境敏感保护目标 本项目水环境敏感保护目标见表5-1-3。

表5-1-3 水环境敏感保护目标一览

序号 1 2 3 4 名称 青衣江 大渡河 岷江 白滩堰 特殊保护区域 / / 白滩堰入江口下游 开发区排水口下游 最近距离(m) 1000 630 4760 2560 方位 北侧 西、西北、北 东侧 南 保护类别 《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)Ⅲ类标准 5.1.3风险评价重点 (1)风险识别——重点对本项目生产物料、产品及工艺过程进行风险识别; (2)影响预测——对评价所拟定的可信事故进行影响预测;

(3)事故防范措施——针对上述风险识别、可信事故提出具有可操作性的风险事故防范措施;

(4)拟定本项目可能存在事故的应急救援预案。

5.2事故调查统计

根据化学工业部科学技术情报研究所编辑的《全国化工事故案例集》,调查统计了全国1949-1982年的事故资料。事故案例13440例,事故类型包括物体打击、火灾、物理爆炸、化学爆炸、中毒和窒息、其它伤害等17类。事故原因有防护装置缺陷、违反操作规程、设计缺陷、保险装置缺陷等19种。在统计的事故中,或在261例(1.94%),爆炸1056例(7.86%),中毒和窒息6165例(45.87%),设计缺陷1076例(8.00%),个人防护缺陷651例(4.84%),防护装置缺乏784例(5.83%),防护装置缺陷138例(1.03%),保险装置缺乏40例(0.29%),保险装置缺陷57例(0.42%)。从事故发生原因来看,违反操作规程是发生事故的最主要原因。

5.3风险识别

5.3.1物质识别 5.31.1原料产品

(1)硅粉

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 本项目拟采用的原料硅粉规格见表5-3-1。

表53-1 原料冶金级硅粉规格

项目 Si Fe Al Ca 单位 Wt% Wt% Wt% Wt% 数值 ≥98.5 ≤0.5 ≤0.5 ≤0.3 (2)、氢氟酸(氟化氢) 本项目所需的主要辅助原料为含70%的,含50%的氢氟酸,拟从苏州晶瑞化学有限公司采购。

(3)天然气 5.3.1.2中间产品

(1)氢气 (2)氯化氢

(3)三氯氢硅(三氯硅烷) (4)四氯化硅 5.3.1.3最终产品——多晶硅 5.3.2装置风险识别 5.3.2.1氢气制备

本环节存在的危险物质主要为氢气,其具有燃爆特性。

(1)电解过程意外产生火花,发生燃爆现象。主要会对工艺设备、厂房构筑物等造成损害,对外环境空气基本无影响;

(2)氢气输送管线、冷却和分离装置由于构件、操作或检修等问题,引起泄露,会在一定程度上使得周围环境空气有一定燃爆可能。 5.3.2.2三氯氢硅合成

(1)氯化氢管线因为自身重量问题或检修失误、误操作等问题引起阀门、管线发生爆裂或泄漏,导致氯化氢气体外溢。此事故会对外环境空气和地表水体产生影响;

(2)三氯氢硅固定床反应器内压力是2.76MPa,500℃。反映器内温度相对较高,其有一定正压,在反应器及其连接的三氯氢硅输出管线、连接处、控制阀等发生泄漏事故后,将会外溢一定量的三氯氢硅,遇水会快速与水反应,易对外

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 环境空气和地表水体产生影响;

(3)三氯氢硅储罐在管理、设备、操作过程中可能发生罐体泄漏事故,其事故发生时会产生与上述情况一致的影响,并且在事故救援时产生一定量的固体废物(干粉、砂土等含有三氯氢硅、氧化硅、氯化氢等物质的灭火、吸附剂料);

(4)伴随反应生成的氢气也会发生泄漏、燃爆的可能。 5.3.2.3合成气干法分离工序

工艺过程可能发生的风险类型和环节主要有以下几个部分:

(1)旋风除尘器效率故障:此事故不会引起上述三种气体的外溢,从而导致外环境空气影响,仅仅会影响下一环节的效率。此事故仅需要将合成气再次返回旋风除尘器多次除尘即可,或者将此除尘器停止运行,选用备用除尘器或将此装置的合成气转至另外一台正常运行的除尘器即可;

(2)三氯氢硅洗涤塔:由于此过程是合成气处理的第一阶段,合成器中含有一定量的三氯氢硅、氢气和氯化氢,洗涤塔或进气管线、控制阀门等发生泄漏后,易造成三氯氢硅、氢气和氯化氢气体的泄露,对外环境空气产生一定影响;第二阶段的氯化氢洗涤塔中仅含有一定量个的氢气、氯化氢和少量的三氯氢硅,此过程发生泄漏后的主要危险物质为氯化氢和氢气;上述两次洗涤后的气体含有微量的氯化氢和三氯氢硅,发生泄漏事故后仅可能导致火灾爆炸事故,对外环境空气质量影响较小。 5.3.2.4氯硅烷分离提纯工序

工艺过程中所涉及的危险物质主要有三氯氢硅、四氯化硅和聚氯硅烷等,主要通过11级精馏塔对原料三氯氢硅进行精馏处理,除去其中的低沸点、高沸点杂质。可能发生风险的类型主要为以下方面:

从储罐送来的三氯氢硅原料含有少量的四氯化硅和聚氯硅烷,均以液态形式存在,11级精馏塔具有基本相同的工艺特点,其依靠自身的位差来促进精馏后的液体逐级流动。其中主要馏出的物质包括四氯化硅和三氯氢硅,四氯化硅送往氯化氢化工艺用于合成三氯氢硅,精馏后的三氯氢硅送往CVD还原工序。由于本工艺的采用的精馏塔较多,其潜在的危险系数就较大,在精馏塔与管线、管线与精馏塔之间的连接、控制阀门发生渗漏、开裂、断裂乃至爆裂的事故后,均会引起三氯氢硅精馏液的溢出,并且会引起其中少量的四氯化硅溢出,此两种物质的急速挥发会对外环境空气产生一定影响,同时也会产生救援所采用的吸附剂和灭

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 火剂,处理不当也会对外环境产生影响。 5.3.2.5三氯氢硅氢还原工序

此工艺主要是将精馏后的三氯氢硅和氢气送入还原炉,在给定的方形硅芯棒上沉积多晶硅的过程。此工艺主要包括三氯氢硅的汽化和三氯氢硅还原生成多晶硅的两个过程,其可能发生的风险事故如下:

(1)还原气体氢气的泄露:此工艺过程的还原气体主要来自电解过程的产品气和合成气分离的氢气(统一的氢气储罐),此过程中发生泄漏事故后会导致气体泄漏,可能会发生燃爆事故,对装置和周围的构筑物产生一定损伤,对外环境空气的影响相对较小;

(2)三氯氢硅汽化:来自原料罐的三氯氢硅液体被送入三氯氢硅汽化器,加热汽化后送入还原炉,此过程由于三氯氢硅处于气态状态,其处于相对高的温度,在发生泄漏事故后,三氯氢硅迅速进入外环境空气,对外环境产生一定影响;

(3)三氯氢硅还原:还原炉内存在的物质主要包括三氯氢硅气体、氢气和多晶硅,还有还原反应生成的二氯二硅烷、四氯化硅、氯化氢和氢气,还原炉发生泄漏事故后,其泄漏物料包括上述各种原料和副产品,由于其炉内的量较小,对外环境空气的影响也相对较小。 5.3.2.6还原尾气干法分离工序

还原炉中未反应完全的三氯氢硅、氢气和还原产生的二氯二硅烷、四氯化硅、氯化氢和氢气一并送入干法分离器中,选用类似于合成气分离工序的技术,对尾气进行分离处理。

通过变压吸附后得到高纯度的氢气,一部分送入原料储罐,大部分送入三氯氢硅还原,其余部分送入四氯化硅氢化;再经过氯化氢解析塔除去尾气中的氯化氢,送往用于三氯氢硅合成的缓冲罐中;余下的氯硅烷液体送入氯硅烷贮存工序的还原氯硅烷贮槽。此工艺过程中处理的尾气有毒有害物质含量相对较低,,风险值远远小于上述工艺过程,发生事故对外环境要素产生的影响也相对较小。 5.3.2.7四氯化硅氢化工序

本工艺所涉及危险物质主要包括:四氯化硅、氢气、三氯氢硅、氯化氢等。反应后的气体将送入氢化气干法分离工序。本工艺过程可能发生风险事故的类型主要有以下方面:

(1)四氯化硅汽化:此过程主要通过热水加热汽化后送入氢化炉,发生泄

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 漏事故后将会引起四氯化硅气体外溢进入外环境空气,其直接影响的环境要素为环境空气;

(2)氢化炉:氢化反应发生后,氢化炉内的危险物质主要包括三氯氢硅、氯化氢和未反应的四氯化硅和氢气。反应炉发生泄漏后,会引起导致上述几种物质进入外环境空气,产生一定影响。 5.3.2.8氢化气干法分离工序

从四氯化硅氢化工序来的氢化气经此工序被分离成氯硅烷液体、氢气和氯化氢气体,分别循环回装置使用。氢化气干法分离的原理和流程与三氯氢硅合成气干法分离工序十分类似。

此过程主要对工艺废气进行分离回收处理,所涉及的有毒有害物质主要包括四氯化硅、氢气、三氯氢硅、氯化氢等气体,其含量相对较小,泄漏事故对外环境空气影响较小。 5.3.2.9其他工序

在通过上述原料精馏、产品精馏、尾气处理的过程后,再通过硅芯制备工序、产品整理工序、废气和残液处理工序。

(1)硅芯制备工序:此工艺过程会使用氢氟酸、等进行酸蚀处理,会有少量的氟化氢和氮氧化物气体产生,但不会发生风险事故,对外环境产生突发危害;

(2)产品整理工序:主要对产品多晶硅棒进行切割、破碎,然后用氢氟酸和进行酸蚀,并利用集气罩将散逸气体

5.4储存区风险识别

储存区主要包括三氯氢硅、四氯化硅、氯化氢缓冲罐、氢气储罐,罐区可能由于损坏、腐蚀等原因引起有毒有害物质泄漏,影响环境空气,对人员健康产生影响。

5.5可信事故判定

5.5.1可信事故判定

根据事故统计和相关资料分析,确定本项目最大可信事故为:三氯氢硅和硫化氢储罐的泄漏引起的事故。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 5.5.2预测及评价

(1)预测模型

根据《建设项目环境风险评价技术导则》规定,本次预测采用推荐的预测多烟团模型。

(2)预测结果

根据对最大可信事故在不同项目条件下的预测结果,可知:三氯氢硅和硫化氢储罐的泄漏后半致死浓度在100m-200m范围,该范围内无居民等环境保护目标,影响主要在厂内,5km范围内超过车间卫生标准和居住区浓度标准,对5km内环境保护目标有超标影响,应及时启动应急预案,确保人员安全。

5.6风险防范措施

5.6.1危险品存储防范措施

根据《常用化学危险品贮存通则(GB15603-1995)》中要求,在贮存和使用危险化学品的过程中,应做到以下几点:

(1)储罐区设置围堰和安装危险气体报警器;

(2)拟建项目各种危险、有毒和有害物品在生产场所和贮存区的堆放量均不应超出标准规定的临界堆存量;

(3)储罐温度、湿度应严格控制、经常检查,发现变化及时调整,并配备相应灭火器;

(4)装卸和使用危险化学品时,操作人员应根据危险性,穿戴相应的防护用品;

(5)使用危险化学品的过程中,泄漏或渗漏的包装容器应迅速移至安全区域;

除以上管理措施外,针对不同危险品的性质,还应采取相应管理措施。 5.6.2装置风险防范措施

①拟建项目的所有操作人员均应经过培训和严格训练,包括岗位培训、安全及防火基本知识教育和特殊岗位作业培训,并取得合格证才能上岗操作;

②开、停车和检修状况下,需要排空的设备和管道应严格按照设计要求,将排放物料予以收集和处置,严禁乱排放。泄漏、爆炸、燃烧等事故发生后,应严

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 格按照有关规定及时处理,防止事故的扩大;

③设备及管道检修:

·为防止起火,应防止大量易燃易爆气体排入大气。当必须向大气中尤其是向地面上排放此类气体时,应在蒸汽幕的保护下慢慢地进行;

·设备或管线在开始检修前,必须用蒸汽吹扫或水冲洗,除在开车和干燥过程中特意指定的以外,管线和设备不得用空气吹扫;

·使用防电火花的工具或在油中浸润过的工具;

·所有蒸汽软管应有良好有效的接地,以减少蒸汽喷射流动时产生电火花的可能性。

④开启大型容器如塔、釜和罐类:

·将所有流体排尽,并用蒸汽吹扫或注水充满,直到确认没有有毒物或易燃物为止;

·维修人员进入设备之前,应使用气体检测器确认设备内不存在易燃和有毒物质,且氧气含量最小为10%(VOL);

·当维修或检验人员在设备内工作时,设备必须通风,最好采用机械通风; ·设备检修完毕,重新投运之前必须用蒸汽或惰性气体置换容器内的空气; ·输送气体或易燃、高挥发性液体的管道(或设备)一旦发生泄露时必须用覆盖蒸汽覆盖泄露处,直至修好或压力降低,不管泄露量多少,都必须立即修理,不得延误。

5.7应急预案

项目风险事故应急预案基本内容见表5-7-1。

表5-7-1 应急预案内容

序号 1 2 3 4 5 6 7 8 项 目 应急计划区 应急组织机构、人员 预案分级响应条件 应急救援保障 报警、通讯联络方式 应急环境监测、抢险、救援及控制措施 应急检测、防护措施、清除泄漏措施和器材 人员紧急撤离、疏散,应急内 容 及 要 求 危险目标:装置区、贮罐区、环境保护目标。 工厂、地区应急组织机构、人员。 规定预案的级别及分级响应程序。 应急设施,设备与器材等。 规定应急状态下的报警通讯方式、通知方式和交通保障、管制。 由专业队伍负责对事故现场进行侦察监测,对事故性质、参数与后果进行评估,为指挥部门提供决策依据。 事故现场、邻近区域、控制防火区域,控制和清除污染措施及相应设备。 事故现场、工厂邻近区、受事故影响的区域人员及公众对毒物应急国家环境保护总局环境发展中心

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 剂量控制、撤离组织计划 9 10 11 事故应急救援关闭程序与恢复措施 应急培训计划 公众教育和信息 剂量控制规定,撤离组织计划及救护,医疗救护与公众健康。 规定应急状态终止程序; 事故现场善后处理,恢复措施; 邻近区域解除事故警戒及善后恢复措施。 应急计划制定后,平时安排人员培训与演练。 对工厂邻近地区开展公众教育、培训和发布有关信息。 5.8小结

根据相关资料统计分析和风险识别,确定三氯氢硅和硫化氢储罐的泄漏为最大可信事故,采用风险导则要求的多烟团模式进行预测,由结果可知:最大可信事故发生后半致死浓度内没有居民,并距环境保护目标较远,5km范围内超过车间卫生标准和居住区标准,应及时启动应急预案,企业要严格管理、提高风险防范意识,并在采取严格的风险防范措施和制定完善的应急预案前提下,本项目环境风险处于可接受水平。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 6.环境保护措施技术经济论证

本工程主要技术来源:采用中俄联合设计的四川新光硅业公司1260吨/年多晶硅厂的主工艺技术、参照峨嵋半导体材厂使用多年的还原炉导热油循环冷却技术、结合太阳能级多晶硅产品质量的特点进行工艺技术路线的简化。该工艺具有的副产物四氯化硅氢化和还原炉、氢化炉尾气干法回收等关键技术,使大量副产物及副产热能得到充分的综合利用,从根本上解决了环保问题;同时设计中采取了多种措施以进一步降低“三废”的排放,最大限度地减少了污染,有利于环境保护。

6.1废气处理措施

(1)硅尘处理措施

硅粉装卸站设计气流输送系统输送硅粉,用水环式真空泵、经旋涡分离器、袋式过滤器、气水分离器后,由15米排气筒排入大气。

排入大气的气体量约为5000m3/h,硅粉排放浓度0.1mg/m3,硅尘排放量1.62×10-4kg/h,低于《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2规定的二级标准的最高允许排放浓度60mg/m3,最高排放速率1.9kg/h。

(2)含酸废气处理措施

本工程拟设计酸废气净化塔5台(BF-1-7.5型),采用碱(或氨)喷淋吸收,净化率大于90%,净化后由15米排气筒排入大气。

经净化塔净化处理后,硅芯腐蚀工序HF、NOx排放浓度分别为3.34、2.47 mg/m3,排放量分别为0.05、0.037kg/h,低于《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2规定的二级标准的HF最高允许排放浓度9 mg/m3,最高排放速率0.1kg/h;NOx最高允许排放浓度240 mg/m3,最高排放速率0.77kg/h。

(3)尾气洗涤塔尾气处理措施

SiHCl3合成、SiHCl3提纯精馏工序排放的气体全部用管道送入尾气淋洗塔,尾气系统用氮气保护。废气中含N2、HCl、SiH2Cl2等气体,用水淋洗后的尾气经15米排气筒排入大气。尾气主要含HCl,其浓度1.63mg/m3,排放量1.63×10-4kg/h,低于《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2规定的二级标准的最高允许排放浓度100mg/m3,最高排放速率0.26kg/h。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 6.2废液处理措施

SiHCl3合成、SiHCl3提纯精馏废气用水淋洗,可将废气中的HCl几乎100%的淋洗入水。淋洗水呈酸性,采用石灰石中和滤池处理,硅芯腐蚀废水采用石灰石中和沉淀法间歇处理、澄清分离后,均进入厂区中和池检验达到《污水综合排放标准》GB78-1996一级标准后排入岷江,经处理后使氯化物的浓度达到《四川省水污染物排放标准》(DB51/190-93)一级标准。

生活污水及地面冲洗直接排入厂区污水处理站进行生化处理达标后排放。 6.3固体废物的治理措施

为解决本工程废渣的存放问题,乐山高新区拟设置一个渣场。对渣场设计方案贯彻执行GB18599-2001《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》,在设计施工中贯彻实施下例环保技术措施:

(1).渣场场址应处于一个相对稳定的区域,不会因自然或人为的因素而受到破坏,场址周围无特殊保护的区域,并且,周围无重大不良地质现象,场地稳定;

(2).根据实际情况,加固防洪堤,提高渣场围堤高度; (3).应有导流液与流出液的控制设施; (4).其它处理措施:

a.在管理上必须严格规定,不允许有毒有害不明成分的固体废弃物及生活垃圾进入渣场。

b.在渣场四周修建截水沟,使其它区域的地表径流不得进入渣场。 6.4噪声污染防治措施

(1). 设计中尽量选用低噪声设备。

(2). 设备定货时要求设备厂家产品噪声达到行业标准,同时附带必要的消声、隔声设施。

(3). 采取多种隔声、消声、吸声措施,如设置隔声操作控制室,使工人与噪声接触的时间和强度均减少。

(4). 合理配管,减少阀门和管道噪声。

(5). 设计中尽可能合理布置,防止噪声叠加和干扰。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 6.5绿化

绿化是净化空气,降低噪声、美化环境的重要环保措施,本工程的绿化系数将达到15%。 6.6其它

(1). 加强污染治理设施的管理,保证治理设施与生产装置同时正常运行是防治环境污染的关键。

(2). 加强厂内环境监测工作,及时掌握水、气污染物的排放情况,出现问题及时处理。

(3). 各种催化剂要妥善保管,废催化剂包装容量应该安全、密闭,及时进行处理和处置,同时应该设置暂时堆放催化剂的仓库,注意防水防潮,严格控制流失,污染环境。

(4). 加强化学品的管理,特别是化学品的运输和保管,减少化学品的流失。 (5). 建立健全各项规章制度,确保安全生产的正常运行,车间和工段必须有生产工艺规程,生产操作规程,安全生产规程、环保操作规程和岗位责任制等规章制度,避免事故的发生,或将事故降至最低程度。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 7.产业及清洁生产水平分析

7.1产业分析

自从二十世纪80 年代以来,世界正从工业社会向信息社会过渡,以信息高速公路为代表的信息浪潮席卷全球,电子信息技术成为世界经济增长的强大动力。信息化程度的高低已成为衡量一个国家现代化水平的标志。我国对电子信息产业的发展十分重视,国家“十一五”规划把电子信息产业作为近期国家新的经济增长点和国家重点发展的支柱产业,将采取重点扶植、优先发展的措施。

作为电子信息产业发展基础的集成电路,其发展是以单晶硅片为依托,特别是现代超大规模集成电路(ULSI)制造技术,更是直接建立在大直径单晶硅技术的基础之上。而超纯多晶硅是生产单晶硅的唯一原料。电子级多晶硅是集成电路大厦的“基石”或“粮食”,没有高纯度的多晶硅,就不可能制取满足集成电路和分立器件要求的单晶硅片。因此,多晶硅是微电子和光伏产业最重要的基础材料,95%以上的半导体器件和85%以上的光伏元件是用硅材料制造的。

在2005 年12 月令第40 号《产业结构调整指导目录》第二十四项,信息产业第38 条“6 英寸及以上单晶硅、多晶硅及晶片制造”及《当前优先发展的高技术产业化重点领域指南》(2004 年度)产业目录第18 项电子材料“…多晶硅、8~12 吋单晶硅及外延片…”中都将多晶硅列入国家重点鼓励发展的产业。多晶硅也列为国家2005-2007 实施可再生能源和新能源高技术产业化研究发展项目。

本项目采用改良西门子法工艺生产多晶硅,是目前国际上应用最广泛,技术最成熟的多晶硅生产技术,其工艺技术、产品质量、能耗等经济技术指标具有国际先进水平。

因此,本项目符合国家产业及四川省、乐山市的产业发展要求。

7.2清洁生产水平分析

(1)概述

我国于2003 年1 月1 日起开始实施《清洁生产促进法》,正式将清洁生产纳入法制轨道,使我国的工业污染防治工作从重点抓末端治理转变成抓源头控制、生产全过程控制和末端治理并举的道路上来。对工业项目全面实施清洁生产

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 提出了明确要求。按照环保,新建和技改项目应符合“清洁生产工艺”,即要求做到物耗能耗少、工艺装置较先进、最大限度的减少“三废”排放或排放的污染物有妥善的处理措施,最大限度地提高能源和资源的利用率,减少生产过程的污染物的排放。

清洁生产在化工生产企业中体现在将污染预防和废物最小化,这一环保战略持续应用于生产过程和产品,以达到生产过程和产品的不断优化,进而最大限度地减少化工生产对人类环境的危害。因此,化学工业的清洁生产一方面为最大限度地将污染源削减和最大限度的物料循环利用;另一方面改变依靠末端治理的传统思想,通过改进原料路线、改进工艺设备及管理,达到既削减污染、治理污染,保护资源和环境,又给企业节能降耗带来经济效益。

(2)循环经济分析

所谓循环经济,是对物质闭环流动型经济的简称,从传统工业社会对资源利用呈单项流动的线性经济转变到对资源做到“减量化、再利用、再循环”新型的经济发展模式,以真正实现人与自然的协调与和谐,而清洁生产是循环经济在企业层次的体现,是循环经济的组成部分和重要基础。按照乐山市要求,乐山高新区主要致力于高新技术产业,优化能源布局、能源结构和能流关系,全面创建循环型工业经济体系。本项目产品多晶硅是信息产业和光伏产业的主要原料,其建成投产对促进相关发展起着促进和保证作用,体现循环经济模式。

在循环经济指导下,本项目产品多晶硅可作为光伏产业的原料,使得高新区区形成太阳能能源利用和半导体行业的产业链。园区内基础设施建设逐步到位,已完成配套的供水、排水、天然气、供电、通信、有线电视、计算机宽带网等基础设施。本项目所需的天然气、水、电等均可依托园区内设施。项目排放的含二氧化硅、硅等废渣可作为水泥原料,即减少了废固排放,又进行了综合利用,符合循环经济的思想。

(3)本项目清洁生产水平分析 通过比较分析表明:

本项目符合国家产业和市场需求; 本项目的产品质量好,优于俄罗斯技术产品; 本项目采用的工艺为国际先进水平; 本项目的能耗、物耗达到国际先进水平。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 通过本工程清洁生产的分析与评价,所采取的能够体现清洁生产的工艺技术、生产设备以及相应的预防措施等,均可很大限度地削减污染物的排放,减轻企业末端“三废”治理的压力,同时企业也从节能降耗中获取经济效益。清洁生产水平处于国内较高的水平。符合清洁生产的要求。

根据本项目工艺特点,提出建议如下:

(1)按照标准程序进行清洁生产审核。在全公司范围内进行清洁生产的宣传教育,提高全员清洁生产的意识。从组织上成立清洁生产审计领导小组,制定具体的清洁生产审计考核指标和明确的工作计划,进一步开展装置清洁生产审计工作,不断提高项目的清洁生产水平。

(2)确保生产的正常运行,及时发现问题,进行工艺优化,避免事故发生。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 8.污染物排放总量控制分析

8.1总量控制原则

对污染物排放总量进行控制的原则是:将给定区域内污染源的污染物排放负荷控制在一定数量之内,使环境质量可以达到规定的环境目标。污染物总量控制方案的确定:在考虑污染物种类、污染源影响范围、区域环境质量、环境功能以及环境管理要求等因素的基础上,结合项目实际条件和控制措施的经济技术可行性进行。

根据国家当前的产业和环保技术,制定本项目污染物总量控制原则和方法,提出污染物总量控制思路:

第一:以国家产业为指导,分析产品方向的合理性和规模效益水平; 第二:采用全方位总量控制思想,提高资源的综合利用率,选用清洁能源, 降低能耗水平,实现清洁生产,将污染尽可能消除在生产过程中;

第三:强化中、末端控制,降低污染物的排放水平,实现达标排放; 第四:满足地方环境管理要求,遵循区域总量控制规划,使项目造成的环境影响低于项目所在地区的环境保护目标控制水平。

8.2总量控制因子和计划

根据国家环境保护“十一五”计划中污染物排放总量控制目标,并结合周围区域环境质量现状和首秦公司建设项目污染污染物排放特征,确定以下污染物为本项目总量控制因子。

(1)废水污染物指标(1项):COD; (2)固体废物指标(1项):工业固体废物。

8.3总量控制目标值的确定

本项目对各污染源均采取了有效的治理措施,实现了各类污染物的达标排放,无论排放浓度还是排放速率,均达到国家相应排放标准的要求,有效的控制了各类污染物的排放总量。

(1)废气污染物总量控制目标值的确定

由工程分析可知,本项目废气污染物排放量为粉尘744kg/a、NOx 699.6kg/a、

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 氟化物372kg/a、HCL141.36kg/a,氟化物和HCL为本项目特征污染物,建议将其作为总量控制污染物。

(2)废水污染物总量控制目标值的确定

本项目外排废水110.856万t/a,其中清净下水95.232万t/a,污水处理站排水15.624万t/a,COD排放量15.624t/a。

(3)固体废物总量控制目标值的确定

本项目废硅粉产生量200t/a,废石渣及污泥2310t/a,酸洗废酸1270t/a。

8.4总量控制污染物来源及分配方案

上述总量控制指标需要环境保护行政主管部门进行确认。

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9.环境管理及环境监测

9.1环境管理计划

环境管理是企业日常工作的重要组成部分。建立必要的环境管理制度有利于保证企业的正常生产,避免事故性排放的发生,保护生态环境。为保证项目建成后,建立起完善的环境管理制度,本评价提出如下建议。 9.1.1施工期间的环境管理

施工开始后,建设单位应督促承包单位将环境保护的内容纳入日程的管理内容,并建立相应的工作制度和计划。建设期间,承包单位应指定专人负责施工期的环境管理工作,按地、照预先制订的工作制度和计划,具体落实每一项措施和计划,其中尤其要注意施工期间的废水和淤泥管理的问题。环保负责人应随时检查废水收集系统,所有施工废水需引入该系统,经过隔油、隔渣及沉降后方可排放,环保负责人应负责落实将其运至指定位置堆放。 9.1.2运行期间的环境管理

施工完毕,项目开始正常运营,在此期间的环境管理应密切结合项目的生产管理,保证生产的正常进行,落实各项劳动保护措施。建设单位应加强环境管理,其工作内容可参照以下条款进行:

(1)建立运行期间的环境管理责任制度,设置专门的环境保护机构或部门,指派专门的环保管理人员,使其担负起全厂的环境保护管理工作。

(2)制订各工序日常操作管理规章制度,并严格照章执行,定期考核,并按照各的操作规程进行培训,培训合格后方可上岗操作。

9.2环境监测计划

9.2.1监测设施配备

可配备1至2名兼职管理人员、监测人员和操作工,负责全厂环保管理工作,环保设施运行、监测和绿化工作。同时负责与监测单位的委托工作,进行环境监

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 测。

9.2.2监测计划 9.2.2.1常规监测计划

(1)大气监测计划

污染源监测点:硅粉尘装卸站排气筒,硅芯腐蚀工序净化塔后排气筒,HCL合成、SiHCL3合成、SiHCL3提纯精馏工序尾气淋洗塔后排气筒。

环境空气监测点:设2个监测点,1#设厂区,2#设在开发区管委会。 监测项目:正常生产和非正常生产时监测硅粉尘、NOx、氟化物、HCL。 监测频率:废气,每半年监测一次,每次监测一天,每天监测不少于3次;环境空气,每半年监测一次,每次连续监测5天。

(2)水质监测计划

对污水处理设施的进、出水口进行定期监测,保证出水水质达标,有异常现象及时反映。

监测项目:pH、SS、化学需氧量、氨氮、氟化物、氯化物。 监测频率:每月监测3次,每旬监测一次。 (3)噪声监测计划

在厂界外布设8个以上监测点,对噪声等效连续A声级进行监测。 监测频率:厂界噪声每年监测1次。 9.2.2.2事故监测计划

环保治理设施运行情况要严格监视,及时监测。当发现环保设施发生故障或运行不正常时,应及时组织抢修并向环保部门报告,并立即采样监测。 9.2.2.3监测单位和培训计划

在执行监测任务过程中,建议争取市环境监测站的指导,特别是协助进行实验室的监测质量控制和事故监测计划。定期组织人员进行环保知识培训和环保法律法规的学习。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 10.环境影响经济损益分析

10.1工程经济效益

本项目总投资估算及资金来源见表10-1-1。

表10-1-1 本项目总投资估算

序号 1. 2. 3. 4. 5. 项目 建设投资 建设期利息 流动资金 总投资 报批投资 金额(万元) 195372 9258 12961 217591 208518 本项目总投资为217591万元,报批投资为208518万元,报批投资的30%,即630万元为股本金,不还本不计息;投资其余部分为贷款,其中建设贷款144878万元,年利率6.39%;流动资金贷款为9073万元,年利率5.85%。

太阳能级多晶硅价格按照50美分/公斤,以1美圆=8元的汇率计,相当400000元/吨。根据次价格计算年均销售收入为118400万元。

年销售税金及附加按国家规定计取。企业缴纳,产品率为17%,外购的原辅料及公用工程的率为17%(生活水为13%)。城市维护建设税及教育费附加分别按金7%及3%计取。

年平均利润总额31777万元,所得税按国家西部优惠计取。生产期头二年按15%计取,其余按利润总额的33%计取。经计算,年均所得税10061万元,年均税后利润21716万元,盈余公积金按税后利润的15%计取。在还款期间将税后利润、折旧费的100%、摊销费的全部用来还款。人民币贷款按项目投产后最大偿还能力计算偿还期为6.年(含建设期)。

10.2社会效益分析

在全球科技、经济一体化迎接以通讯网络及多媒体为中心的信息时代的进程中,半导体的发展是前所未有的,这是硅材料所处的特殊地位所决定的,至今尚无任何材料能像硅材料在信息领域具有如此巨大而长久的贡献。理论上,在使用温度、导热性、高频及低功率等性能方面优于硅的材料,如SiC、金刚石等常为人们所提及,这类材料的器材使用温度可达300℃,有的接近500℃,但是像硅材料一样能获得性能完美的3‡、4‡以至6‡、8‡的晶片,像硅器件那样电路

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 加工线宽作到亚微米级,显然那将是材料及器件工作者们尚需奋斗几代后才有望实现的梦想。即使是梦想实现的时候,也仍是互为补充,硅材料所具有的作用与地位不会被完全替代。

为了满足国内外市场的需要,以及避免在国际经济形势尚不安定的情况下,出现我国集成电路产业在重要原辅材料受制于人的局面,国家将“8‡以上单晶硅片、多晶硅”列入当前国家重点鼓励发展的产业、产品,这将有利于半导体硅材料工业的发展。为促进电子信息产业、集成电路产业的发展,尽快改变我国多晶硅生产落后的局面,缩小与国外的差距,采用我国自己研究的先进技术,建设、经营一座现代化的、具有一定规模和竞争力的多晶硅工厂是必要和可能的。

从宏观上讲,3000t/a多晶硅厂的建设,必将在纵横方向上产生影响,带动相关领域的发展,带动延伸线产业的发展。从纵向上看,多晶硅、单晶硅、硅片加工、器件、各种电子产品,犹如一条大河,后浪推前浪,奔腾向前,其所产生的社会价值会层层地以10倍的价值逐层递加;从横向上看,与各层次相关的机械、电器、仪表、设备、材料以及作为其依托的科学、技术、工艺等领域,会因此而获得大的发展和大的投入。因为多晶硅材料是电子工业基础的基础。没有多晶硅,无法控制单晶硅;没有单晶硅,何以谈得上硅片加工、器件生产、电子产品的升级换代、电子工业的突飞猛进?如果依靠进口多晶硅来发展电子工业,必然使硅片深加工处于被动局面,受制于人,严重影响电子工业的发展,阻碍我国跻身电子工业大国和信息技术强国的行列。同时我们也应该看到,没有材料作为基础,单晶、区熔、硅片加工设备、检测设备也无用武之地。因而也就不能刺激相关行业和科学技术的发展,国民经济的整体水平将得不到提高。也可以说,实现多晶硅的规模性生产,就是振兴我国电子信息产业的突破口。

具体地讲,建设本项目必然带动地方经济发展,增加人均收入。

(1)项目建成后,将解决部分待业人口就业,增加这部分人口的经济收入,提高他们的生活质量,同时为乐山市的经济和城市发展提供良好条件。

(2)项目的建设需要大量的民工,也可解决部分人口的就业问题;项目的建设,需要大量的建筑材料,这对带动地方经济的发展、促进地方运输业繁荣具有积极的作用。

(3)本项目采用的工艺为低物耗、低能耗、轻污染的清洁生产工艺,对环境质量影响较小,有利于社会、经济与环境的柯持续发展。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 10.3环境损益分析

10.3.1 节能减污效果

生产多晶硅的传统西门子工艺,产生大量的H2、HCl、SiCl4等副产物未能得到回收利用,造成物料、能源浪费,并由此带来严重的环境污染。改良西门子工艺将还原过程生产的大量含H2、HCl、SiHCl3 、SiCl4的尾气,用干法回收后,H2与SiHCl3直接返回还原系统沉积生长多晶硅,HCl用于合成原料SiHCl3, SiCl4氢化转化成SiHCl3后返回生产系统,整个多晶硅生产系统基本上是一个闭路循化系统。靠这个闭路循化系统,由多晶硅生产厂自身解决了所有副产品的回收、利用问题,解决了主要环境污染物不向外环境排放的出路问题,从而较好地解决了多晶硅生产过程地环境污染问题,环境效益显著。 10.3.2 环境损失分析

工程施工使土地性质发生变化,因此,施工期的环境损失主要表现在厂址对植被的破坏。运行期的环境损失主要表现在,排入大气的HCl、HF、NOX尽管排放量很小,但毕竟是酸性气体,或多或少对乐山市的酸雨是有贡献的,对大气环境质量将产生轻微不利影响;处理后达到《污水综合排放标准》GB78-1996一级标准,通过白滩堰排往岷江下游杜家场河段的生产、生活废水,对岷江杜家场河段下游水质总有一定的影响。

由于乐山是旅游生态型城市,旅游资源相当丰富。天下名山—峨眉山,世界大佛—乐山大佛,皆闻名遐迩,响誉中外。为了保护乐山市生活环境,保护乐山市旅游资源,吸引中外游客游乐山、登峨眉、观大佛,本工程格外注重环境保护工程和设施的投入,以尽可能减小环境损失。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 11.规划符合性及选址合理性分析

11.1规划符合性分析

11.1.1与乐山市城市总体规划符合性分析

乐山市现行总体规划为1994经由四川省审查批准的《乐山市中心城区城市总体规划》(1993-2020)(川府函[1995]345号)(简称“93总规”),规划乐山中心城区形态为绿心环状组团式布局。形成由绿心环、城市环、江河环、山林环交融共存的生态型城市。城市结构为一个中心、二个副中心。柏杨坝新区是全市的政治、经济、文化、金融中心,嘉州古城与青衣新区作为二个副中心,分别以发展商贸、旅游以及仓储、生活居住为主,规划形成嘉州古城、柏杨坝新区、青衣综合区、肖坝科研文教区、绿心、大佛风景名胜区、九峰工业区、城南综合区和牟子经济区等九个组团。

“93总规”对乐山中心城市的定位基本准确,发展方向选择科学合理,布局结构较为合理,主要经济技术指标基本可行,对乐山近年的城市建设起到了积极的指导作用。从城市建设的实际来看,“93总规”所提出的近期建设目标,为城市今后发展打下了良好基础。但在实施过程中也存在一些问题。93版城市总体规划执行到现在已经十多年,这期间乐山城市发展和基础设施建设经历了一个飞跃阶段,出现了许多新情况和新问题,比如用地主要发展方向如何确定、城市中心区如何建设、大佛风景区与城区如何协调、城市景观效果如何提高、嘉州古城如何保护等等,解决上述问题都要求对原总体规划进行及时修编,以适合城市建设的需要。

乐山市2004年委托上海同济城市规划设计研究院对乐山市城市总体规划进行了修编,目前完成了《乐山市城市总体规划》(2003-2020)(简称“03总规”)编制工作,已经呈报有关部门进行审批,“03总规”修编在统筹综合市域规划、乐山组团城市规划的基础上,重点是中心城区总体规划,根据中心城区用地的约束条件和功能布局,中心城区的建设用地发展方向可以概括为“东抑、南控、西进、北拓”,城市总体规划图见图11-1-1。

主城区跨过大渡河以南实际可利用的城市建设用地主要集中在车子(车子高新区)和安谷一带,原规划主要作为度假、旅游用地,在实际的发展过程中,已

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 被逐步的调整为高新技术产业园区。根据现状中心城区空间拓展趋势,按照重要道路、河流、山体、绿化分隔,把乐山中心城区分为十二个功能区,其中车子高新区位于大渡河以南,大佛风景区以西,以高新技术产业为主。本项目采用改良西门子工艺生产多晶硅,属于高新技术产业,拟建于车子高新区,符合乐山市修编后的城市总体规划要求。

11.1.2与乐山高新技术产业开发区控制性详细规划的符合性

乐山高新技术产业开发区控制性详细规划(修编)2005年9月通过乐山市批复(乐府函[2005]92号),控制性详细规划(修编)对乐山高新技术产业开发区进行立法控制、综合管理和合理开发,并以此为出发点,科学地进行规划区的功能分区和用地布局,对规划区进行用地的综合布局、结构的合理组织、功能的科学安排、设施的完善配置以及开发强度的控制和新区的景观、建筑空间的环境控制等,将乐山高新技术产业开发区建设成为交通方便、公共设施配套、市政设施齐全、环境优美,集高新产业、新技术、科研、居住为一体的多功能高新技术产业开发区。

本项目位于乐山高新技术产业开发区,符合开发区控制性详细规划要求。 11.1.3与乐山高新技术产业开发区土地利用规划符合性

2001年7月,为抓住西部大开发机遇,贯彻落实四川省《关于印发促进重点开发区加快发展意见的通知》(川府发[2001]10号),培育壮大高新技术产业,进一步加快乐山高新区的建设和发展,乐山、市作出了《关于进一步加快乐山高新技术产业开发区建设发展的决定》(乐委发[2001]14号),调整了高新区的区域,将市中区大渡河南岸车子镇4个村的全部和安谷镇4个村的部分共6.92平方公里规划作高新区范围。四川省于2003年1月正式批准(川府函[2003]24号)乐山高新区区域范围调整方案。2006年1月26日,乐山高新区通过了国土资源部审核批准并以国土资源部2006年第16号公告予以公布(附件1),批准规划面积406公顷。

乐山高新技术产业开发区控制性详细规划图地利用见图11-1-2,本项目用地属于工业用地,符合开发区土地利用规划要求。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 11.1.4与环境功能区划符合性

乐山高新区大气环境功能规划为二类区,邻近的乐山大佛风景区为一类区,空气质量执行《环境空气质量标准》GB3095—1996 二级标准。

项目受纳水体为白滩堰及岷江,根据乐山市水环境功能区划,白滩堰及岷江执行《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)Ⅲ类标准。

声环境功能为《城市区域环境噪声标准》GB3096-93 中3 类标准。 本项目生产过程中排出的各类污染物经过环保措施处理后排放,经过相关章节,如大气影响预测与分析、水影响分析、声影响评价等专题分析后可知,本项目投产后对大气环境、水环境、声环境的影响不大,不改变环境功能类别,符合开发区环境功能区划要求。

11.1.5与乐山大佛风景名胜区总体规划

乐山大佛风景区属峨眉山—乐山大佛风景名胜区的一部分,1982年同峨眉山一起被批准为首批国家重点名胜区,1996两者一同列入“世界遗产名录”。乐山大佛首次规划于1979年完成,被称为《峨眉山风景名胜区总体规划》的分项——“大佛乌尤景区规划”。

为了适应《保护世界文化与自然遗产公约》对风景区保护的更高要求,乐山大佛风景区管理委员会委托四川省城乡规划设计研究院承担了乐山大佛风景区规划的编制,2006年2月24日乐山大佛风景区规划经风景名胜区部际联席会议评审通过,中国人民共和国建设部以《关于乐山大佛风景名胜区总体规划的函》(建城函[2006]344号)批复了乐山大佛风景名胜区总体规划。

乐山大佛风景名胜区功能分区如下:

(1)核心区:即世界遗产保护区,面积2.81平方公里,包括乐山大佛、凌云寺、麻浩崖墓、乌尤寺、离堆、两江汇流、凤洲岛东部等区域。本区为一级保护区,必须按世界遗产公约要求严格保护,区内现有与遗产保护、展示无关的设施、单位必须搬迁出去。

(2)保护区:面积4.38平方公里(不含核心区),包括龟城山片区南部、凤洲片区中部、杜家坝片区东部、马鞍山片区西北部,本区为二级保护区,必须加强保护,可布置按规划确定的小型旅游服务设施,其它区内现有与风景资源保护、管理、展示无关的设施、单位必须逐步搬迁出去。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 (3)控制区:面积10.69平方公里(不含保护区与核心区),包括马鞍山片区大部、杜家坝片区西部与南部、凤洲片区西部,龟城山片区北部与东部。本区为三级保护区,可在保护风景资源和风景区环境的前提下,进行适当的旅游活动,布置相应的旅游服务和管理设施。

(4)外围协调区:本区不属于风景区范围,而是为保证风景区有一个良好的过渡环境,对风景区周边的城市进行景观风貌要求的区域,包括嘉州古城区、乐山旧城区、肖坝小区、高新技术开发区等,要求这些片区在建筑、色彩、环境等城市景观塑造上与乐山大佛风景区协调。

本项目位于乐山高新技术开发区内,不属于乐山大佛风景名胜区保护范围,符合乐山大佛风景名胜区总体规划的要求。

11.2选址合理性分析

从乐山市城市总体规划、乐山高新技术产业开发区控制性详细规划、乐山高新技术产业开发区土地利用规划、环境功能区划、乐山大佛风景名胜区总体规划、地区风向的角度来看,本项目厂址选址符号相关规划及法规要求。

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12.公众参与

12.1公众参与的意义

本项目对实现循环经济发展和确保资源合理利用具有十分重要的意义,但由于项目在运营期会不可避免的对周边地区造成环境影响,为了很好增进项目建设单位及环评单位同当地公众之间互相交流,应采用公众参与的方式实现双向沟通,通过广泛的公众参与让受工程建设直接或间接影响的公众充分了解产生的环境影响、采取减缓影响的环保措施及项目建设带来的经济效益和社会效益,同时反馈各种意见和建议,积极为项目建设献计献策,充分发挥公众对环境保护工作的参与和监督作用,共同找出解决问题的办法,使工程建设对环境的影响减少到最低限度,避免项目运营过程中出现污染纠纷,更好的将发展生产与保护环境协调起来。

12.2公众参与的目的

(1)综合分析公众意见,在环境保护监管措施中加以落实。在项目运行过程中将公众意见作为工作行动指南。

(2)沟通公众参与建设单位的双向意见,将项目概况、污染情况、治理措施和环境影响评价预测结果等向公众详细地加以介绍,对于公众的意见建议要求等也反馈给建设单位,做出项目的修改方案,起到公众和建设单位之间相互了解的桥梁作用。

12.3信息公告

12.3.1第一次信息公告

2007年7月18日,本次环评进行了第一次信息公告,在乐山市高新区、车子镇、肖公咀(市区)、乐山大佛景区、车子镇杜家场、邢家湾、乐山市城区等人流量相对较大或人口密集的村庄和居民居住地,以张贴公告的形式,将项目相关信息进行告知。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本

公告包括如下内容:

·乐山高新区3000t/a多晶硅项目概况、工程内容等; ·环境影响评价工作程序、主要评价工作内容; ·征求公众意见的主要事项(五项);

·联系方式包括建设单位乐山高新区、评价单位国家环保总局环境发展中心的通讯地址、联系电话、电子邮件地址及联系人等;

·公告说明发布时间不得少于7日,在公告张贴后10天内征询公众意见。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 13.评价结论

13.1产业符合性

自从二十世纪80 年代以来,世界正从工业社会向信息社会过渡,以信息高速公路为代表的信息浪潮席卷全球,电子信息技术成为世界经济增长的强大动力。信息化程度的高低已成为衡量一个国家现代化水平的标志。我国对电子信息产业的发展十分重视,国家“十一五”规划把电子信息产业作为近期国家新的经济增长点和国家重点发展的支柱产业,将采取重点扶植、优先发展的措施。

在2005 年12 月令第40 号《产业结构调整指导目录》第二十四项,信息产业第38 条“6 英寸及以上单晶硅、多晶硅及晶片制造”及《当前优先发展的高技术产业化重点领域指南》(2004 年度)产业目录第18 项电子材料“…多晶硅、8~12 吋单晶硅及外延片…”中都将多晶硅列入国家重点鼓励发展的产业。多晶硅也列为国家2005-2007 实施可再生能源和新能源高技术产业化研究发展项目。

本项目符合国家产业及四川省、乐山市的产业发展要求。 13.2环境质量现状

环境空气:本评价8个监测点位SO2、NO2、氟化物无论是小时值还是日均值,均满足《环境空气质量标准》(GB3095-1996)二级标准要求,其中乐山大佛满足一级标准要求;氟化物、TSP和 PM10日均浓度均满足《环境空气质量标准》(GB3095-1996)二级标准要求,其中乐山大佛满足一级标准要求;HCL满足《工业企业设计卫生标准》(TJ36-79)中关于“居住区大气中有害物质的最高容许浓度”要求。

地表水环境:本次评价地表水各监测断面及监测因子均满足《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)Ⅲ类标准要求。

地下水质量:本次评价地下水各监测点位及监测因子均满足《地下水质量标准》GB/T 14848-93中的Ⅲ类标准要求。

声环境:本次评价拟建厂址各监测点位噪声昼夜间均满足《城市区域环境噪声标准》(GB3096-93)3类标准。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 13.3环境保护措施

(1)废气治理措施

硅粉装卸站经旋涡分离器、袋式过滤器、气水分离器后,由15米排气筒排入大气,满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2规定的二级标准要求。

本工程拟设计酸废气净化塔5台(BF-1-7.5型),采用碱(或氨)喷淋吸收,净化率大于90%,净化后由15米排气筒排入大气。

硅芯腐蚀工序HF、NOx经净化塔净化处理后,低于《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2规定的二级标准。

SiHCl3合成、SiHCl3提纯精馏工序排放的气体全部用管道送入尾气淋洗塔,尾气系统用氮气保护,低于《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2规定的二级标准。

(2)废水处理措施

SiHCl3合成、SiHCl3提纯精馏废气用水淋洗,可将废气中的HCl几乎100%的淋洗入水。淋洗水呈酸性,采用石灰石中和滤池处理,硅芯腐蚀废水采用石灰石中和沉淀法间歇处理、澄清分离后,均进入厂区中和池检验达到《污水综合排放标准》GB78-1996一级标准后排入岷江,经处理后使氯化物的浓度达到《四川省水污染物排放标准》(DB51/190-93)一级标准。

生活污水及地面冲洗直接排入厂区污水处理站进行生化处理达标后排放。 (3)固体废物的治理措施

为解决本工程废渣的存放问题,乐山高新区拟设置一个渣场。对渣场设计方案贯彻执行GB18599-2001《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》。

(4)噪声污染防治措施 ①设计中尽量选用低噪声设备。

②设备定货时要求设备厂家产品噪声达到行业标准,同时附带必要的消声、隔声设施。

③采取多种隔声、消声、吸声措施,如设置隔声操作控制室,使工人与噪声接触的时间和强度均减少。

④合理配管,减少阀门和管道噪声。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 ⑤设计中尽可能合理布置,防止噪声叠加和干扰。 13.4营运期环境影响

环境空气影响分析:本项目建成后在静小风、小风和有风条件下,项目排放的大气污染物的小时浓度贡献值、日均浓度贡献均很小,满足《环境空气质量标准》(GB3095-1996)相应的一级、二级标准和《工业企业设计卫生标准》(TJ36-79)中表1“居住区大气中有害物质的最高容许浓度” ,对外环境空气质量影响不明显。

地表水环境影响分析:本项目实施后,对岷江的水质影响不大,CODCr的贡献值0.002 mg/L,氟化物的贡献值0.00022 mg/L,叠加现状之后,满足《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)Ⅲ类标准要求。

噪声环境影响分析:本项目各种产噪设备对厂界噪声影响预测结果昼夜间均满足《工业企业厂界噪声标准》(GB 12348-90)Ⅲ类标准要求。

固体废物影响分析:本项目产生的废硅粉、废石渣及污泥送乐山高新区多晶硅专用渣场填埋,废酸液交送有危废处置资质的单位处理,各种固废均不直接排入外环境,不会对环境产生明显的影响。 13.5环境风险

根据相关资料统计分析和风险识别,确定三氯氢硅和硫化氢储罐的泄漏为最大可信事故,采用风险导则要求的多烟团模式进行预测,由结果可知:最大可信事故发生后半致死浓度内没有居民,并距环境保护目标较远,5km范围内超过车间卫生标准和居住区标准,应及时启动应急预案,企业要严格管理、提高风险防范意识,并在采取严格的风险防范措施和制定完善的应急预案前提下,本项目环境风险处于可接受水平。 13.6总结论

乐山高新区3000t/a多晶硅项目符合国家产业要求,满足环境功能区划要求,环境风险在可接受程度内,污染物能够达标排放,厂址选址符合相关规划要求。在确保本报告所提及的环境保护措施基础上,本项目建设从环境保护角度是可行的。

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 目 录

1.总论 ............................................................................................................................... 1 1.1概述 ........................................................................................................... 1 1.2编制依据 .................................................................................................... 2 1.3评价目的、原则 ......................................................................................... 5 1.4环境影响评价因子选取 ............................................................................... 6 1.5主要环境控制及保护目标 ........................................................................... 6 1.6评价等级、评价范围及评价标准 ................................................................ 7 1.7评价重点 .................................................................................................. 12 2.工程概况 ..................................................................................................................... 14 2.1建设项目名称、地点和建设性质 .............................................................. 14 2.2建设规模、产品方案及年操作时间 ........................................................... 14 2.3产品性质、规格及用途 ............................................................................. 14 2.4项目组成 .................................................................................................. 16 2.5主要工艺技术方案、工艺流程及产污分析 ................................................ 17 2.6建设项目排污状况分析 ............................................................................. 28 3.环境现状调查与评价 ................................................................................................. 31 3.1自然环境特征 ........................................................................................... 31 3.2社会环境概况 ........................................................................................... 34 3.3区域污染源调查与评价 ............................................................................. 38 3.4环境质量现状 ........................................................................................... 38 4.环境影响预测与评价 ................................................................................................. 47 4.1环境空气影响预测与评价 ......................................................................... 47 4.2地表水环境预测与评价 ............................................................................. 55 4.3声环境预测与评价 .................................................................................... 57 4.4固体废物环境影响分析 ............................................................................. 59 4.5建设期环境影响分析 ................................................................................ 61 5.环境风险评价 ............................................................................................................. 63 5.1环境风险评价概述 .................................................................................... 63 5.2事故调查统计 ........................................................................................... 5.3风险识别 ..................................................................................................

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乐山高新区3000t/a多晶硅项目环境影响报告书·简本 5.4储存区风险识别 ....................................................................................... 68 5.5可信事故判定 ........................................................................................... 68 5.6风险防范措施 ........................................................................................... 69 5.7应急预案 .................................................................................................. 70 5.8小结 ......................................................................................................... 71 6.环境保护措施技术经济论证 ..................................................................................... 72 7.产业及清洁生产水平分析 ................................................................................. 75 7.1产业分析 ........................................................................................... 75 7.2清洁生产水平分析 .................................................................................... 75 8.污染物排放总量控制分析 ......................................................................................... 78 8.1总量控制原则 ........................................................................................... 78 8.2总量控制因子和计划 ................................................................................ 78 8.3总量控制目标值的确定 ............................................................................. 78 8.4总量控制污染物来源及分配方案 .............................................................. 79 9.环境管理及环境监测 ................................................................................................. 80 9.1环境管理计划 ........................................................................................... 80 9.2环境监测计划 ........................................................................................... 80 10.环境影响经济损益分析 ........................................................................................... 82 10.1工程经济效益 ......................................................................................... 82 10.2社会效益分析 ......................................................................................... 82 10.3环境损益分析 ......................................................................................... 84 11.规划符合性及选址合理性分析 ............................................................................... 85 11.1规划符合性分析 ...................................................................................... 85 11.2选址合理性分析 ...................................................................................... 88 12.公众参与 ................................................................................................................... 12.1公众参与的意义 ...................................................................................... 12.2公众参与的目的 ...................................................................................... 12.3信息公告 ................................................................................................ 13.评价结论 ................................................................................................................... 91

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