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专利名称：抗蚀剂添加剂及包含它的抗蚀剂组合物专利类型：发明专利
发明人：申珍奉,徐东辙,任铉淳,韩俊熙申请号：CN201210573110.8申请日：20121225公开号：CN103186043A公开日：20130703
摘要：本发明提供一种由下式（1）表示的抗蚀剂添加剂，以及包含该添加剂的抗蚀剂组合物。根据本发明的添加剂在应用到抗蚀剂组合物时通过在曝光中增加抗蚀剂膜的表面疏水性而能够在浸没式光刻工艺过程中抑制由水引起的浸出，并且在应用到抗蚀剂组合物时能够形成具有优异的敏感度和分辨率的精细的抗蚀剂图案：[化学式1]其中各取代基分别具有与上述定义相同的含义。
申请人：锦湖石油化学株式会社
地址：韩国首尔
国籍：KR
代理机构：北京鸿元知识产权代理有限公司
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